مشخصات کلی

تعمیر سیستم گاز ICP-OES یکی از حساس ترین بخش های سرویس تخصصی دستگاه های ICP-OES است، زیرا پایداری Plasma به کیفیت تامین آرگون، فشار ورودی، دبی گاز، عملکرد Gas Controller و صحت مسیرهای Nebulizer Gas، Auxiliary Gas و Plasma Gas وابسته است. هرگونه افت فشار، نوسان دبی، نشتی، گرفتگی مسیر یا خطای کنترل شیرهای گاز می تواند مستقیما روی تشکیل و پایداری پلاسما، راندمان Nebulization، انتقال آئروسل و در نهایت شدت خطوط طیفی اثر بگذارد. در یک سیستم سالم، جریان آرگون فقط وظیفه تامین محیط پلاسما را ندارد؛ بلکه سه مدار گازی با دبی و نقش متفاوت باید همزمان در محدوده عملیاتی مناسب کار کنند تا موقعیت و انرژی پلاسما، شکل شعله، انتقال نمونه و تکرارپذیری اندازه گیری کنترل شود. به همین دلیل عیب یابی سیستم گاز در ICP-OES باید بر اساس اندازه گیری واقعی فشار و Flow Rate و بررسی رفتار کنترلر انجام شود، نه صرفا مشاهده روشن شدن Plasma.

معماری سیستم گاز آرگون در ICP-OES و نقش هر مسیر

سیستم گاز ICP-OES معمولا از منبع آرگون، رگولاتور یا Pressure Regulator، فیلترها، خطوط انتقال، شیرهای کنترلی، Mass Flow Controller یا Gas Controller و مجموعه Torch تشکیل می شود. بسته به طراحی دستگاه، کنترل مسیرهای گاز ممکن است با MFC های مستقل یا یک ماژول یکپارچه انجام شود.

سه مسیر اصلی گاز در ناحیه Torch اهمیت بیشتری دارند:

  • Plasma Gas یا Coolant Gas که بیشترین دبی را در میان مسیرهای اصلی دارد و محیط لازم برای تشکیل و حفظ Plasma را ایجاد می کند.

  • Auxiliary Gas که برای کنترل موقعیت محوری پلاسما و شرایط حرارتی اطراف Injector استفاده می شود و تغییر آن می تواند شکل و موقعیت Plasma را تغییر دهد.

  • Nebulizer Gas که وظیفه انتقال آئروسل حاصل از Nebulizer به داخل Plasma را بر عهده دارد و تغییر دبی آن مستقیما روی Nebulization و سیگنال تحلیلی اثر می گذارد.

در بسیاری از سیستم های مدرن، دبی گاز با کنترل الکترونیکی تنظیم می شود. بنابراین خرابی ممکن است از خود منبع آرگون نباشد و در MFC، شیر تناسبی، سنسور Flow، برد کنترل یا نرم افزار کنترل دستگاه رخ دهد.

تفاوت عملکرد Nebulizer Gas، Auxiliary Gas و Plasma Gas

Nebulizer Gas معمولا حساس ترین مسیر نسبت به تغییرات کوچک دبی در فرآیند ورود نمونه است. اگر Flow Rate این مسیر از مقدار تنظیم شده فاصله بگیرد، اندازه قطرات آئروسل، سرعت انتقال و مقدار ماده ای که وارد Plasma می شود تغییر خواهد کرد. نتیجه ممکن است به صورت تغییر شدت خطوط، افزایش Background یا کاهش Repeatability ظاهر شود.

Auxiliary Gas بیشتر بر موقعیت و شرایط فیزیکی پلاسما تاثیر دارد. تغییر غیرعادی آن می تواند باعث جابه جایی ناحیه مشاهده یا تغییر شرایط حرارتی Plasma شود. در دستگاه هایی که Observation Zone نسبت به موقعیت Plasma حساس است، این تغییر ممکن است به تغییر شدت خطوط عناصر منجر شود.

Plasma Gas وظیفه تامین اصلی گاز پلاسما را بر عهده دارد و افت آن می تواند از ناپایداری Plasma تا خاموش شدن کامل آن ایجاد کند. فشار ورودی ناکافی، محدودیت در مسیر انتقال یا عملکرد نامناسب شیر کنترل می تواند باعث شود دستگاه در ظاهر فرمان صحیح دریافت کند اما Flow واقعی با مقدار مورد انتظار مطابقت نداشته باشد.

فشار آرگون چگونه باعث اختلال در عملکرد ICP-OES می شود؟

فشار ورودی آرگون باید متناسب با طراحی دستگاه و مشخصات Gas System باشد. عدد فشار به تنهایی معیار کافی برای سلامت سیستم نیست؛ زیرا ممکن است فشار در ورودی دستگاه مناسب باشد اما بعد از فیلتر، شیر یا MFC افت قابل توجهی ایجاد شود.

برای مثال، اگر فشار منبع در محدوده مورد نیاز باقی بماند ولی هنگام فعال شدن Plasma فشار در ورودی ماژول گاز افت کند، احتمال محدودیت ظرفیت رگولاتور، گرفتگی فیلتر، قطر نامناسب شیلنگ یا مشکل در شیر ورودی وجود دارد. یکی از روش های تخصصی تشخیص این وضعیت، مقایسه Pressure در حالت Standby و زمان فعال شدن همزمان چند مسیر گاز است. اگر فشار در حالت بدون بار پایدار باشد اما با فعال شدن Plasma افت کند، باید رفتار سیستم تحت Load بررسی شود.

علائم فشار نامناسب آرگون

علائم فشار نامناسب بسته به شدت خرابی متفاوت است. در موارد شدید، Plasma تشکیل نمی شود یا بلافاصله خاموش می شود. در شرایط خفیف تر، پلاسما ممکن است روشن بماند اما شدت خطوط، Background و Repeatability تحت تاثیر قرار گیرد.

نشانه های مهم عبارتند از:

  • خاموش شدن Plasma هنگام آغاز آنالیز: اگر فشار ورودی هنگام Ignition یا فعال شدن مسیرهای گاز افت کند، انرژی و شرایط لازم برای حفظ تخلیه پایدار تامین نمی شود. اندازه گیری فشار قبل و هنگام Ignition می تواند مشخص کند مشکل از منبع گاز است یا از مدار کنترل داخلی دستگاه.

  • نوسان شدت خطوط طیفی: تغییرات فشار می تواند باعث تغییر Flow و شرایط Plasma شود. اگر شدت خطوط عناصر یک نمونه در چند تکرار بدون تغییر در غلظت نمونه نوسان داشته باشد، سیستم گاز باید در کنار Nebulization بررسی شود.

  • تغییر شکل یا موقعیت Plasma: تغییر فشار و Flow در مسیرهای Auxiliary و Plasma می تواند شکل پلاسما را تغییر دهد. مشاهده غیرعادی Plasma در کنار داده های Flow می تواند سرنخ مهمی برای تشخیص مشکل Gas System باشد.

  • خطای Flow Controller: زمانی که مقدار تنظیم شده با مقدار اندازه گیری شده اختلاف دارد، باید عملکرد MFC، سنسور داخلی، شیر تناسبی و مسیر گاز بررسی شود. این اختلاف در بسیاری از موارد با تعویض تصادفی قطعات قابل حل نیست و نیاز به تست مرحله ای دارد.

جدول تشخیص خرابی بر اساس فشار و رفتار Plasma

برای عیب یابی دقیق، بهتر است فشار و رفتار Plasma همزمان بررسی شوند. جدول زیر رابطه بین نشانه فنی، احتمال خرابی و روش تشخیص را نشان می دهد.

وضعیت مشاهده شدهپارامتر مورد بررسیاحتمال خرابیروش تشخیص تخصصیاثر بر آنالیز
Plasma تشکیل نمی شود Inlet Pressure و Ignition Flow فشار ورودی ناکافی یا محدودیت مسیر اندازه گیری فشار در ورودی هنگام Ignition توقف کامل اندازه گیری
Plasma روشن و سپس خاموش می شود Plasma Gas Flow افت فشار یا نوسان MFC ثبت Flow در چند سیکل روشن و خاموش شدن ناپایداری کامل سیگنال
Plasma پایدار نیست Auxiliary و Plasma Flow نوسان کنترلر یا شیر مقایسه Setpoint و Actual Flow کاهش Repeatability
شدت خطوط نوسانی است Nebulizer Gas Flow ناپایداری MFC یا گرفتگی مسیر اندازه گیری Flow و بررسی پاسخ شیر تغییر Intensity و Precision
Flow واقعی کمتر از Setpoint است MFC Output گرفتگی، نشتی یا خرابی سنسور تست فشار قبل و بعد از MFC کاهش حساسیت
فشار منبع مناسب ولی دستگاه خطا می دهد Internal Pressure فیلتر یا رگولاتور داخلی اندازه گیری در چند نقطه مسیر محدود شدن دبی گاز
Background تغییر می کند Nebulizer و Auxiliary Flow تغییر شرایط Aerosol یا Plasma بررسی همزمان Flow و طیف Background افزایش خطای کمی

Gas Controller در ICP-OES؛ نقطه حساس کنترل دبی

Gas Controller وظیفه دارد فرمان نرم افزار یا سیستم کنترل دستگاه را به جریان واقعی گاز تبدیل کند. در یک معماری متداول، Controller مقدار مطلوب را دریافت می کند، شیر تناسبی را تنظیم می کند و سنسور Flow مقدار واقعی را اندازه گیری کرده و به مدار کنترل Feedback می دهد.

اگر Setpoint برابر مقدار مشخصی باشد ولی Actual Flow دائما بالا و پایین شود، مشکل می تواند در هر یک از حلقه های زیر قرار داشته باشد:

  1. فرمان الکترونیکی

  2. شیر تناسبی

  3. سنسور Flow

  4. فشار ورودی

  5. مسیر خروجی

  6. نشتی یا گرفتگی

  7. کالیبراسیون Controller

به همین دلیل تعویض مستقیم MFC بدون اندازه گیری پارامترهای ورودی و خروجی می تواند باعث هزینه اضافی و حتی ایجاد خطای جدید شود.

نشتی چگونه رفتار Gas Controller را تغییر می دهد؟

نشتی در مسیر گاز ممکن است آنقدر شدید باشد که Plasma تشکیل نشود یا آنقدر جزئی باشد که دستگاه همچنان کار کند اما دبی واقعی ناپایدار شود. نشتی های کوچک در اتصالات Compression Fitting، شیلنگ ها، O-ring ها و محل اتصال به Torch از مواردی هستند که باید هنگام افت غیرعادی Flow بررسی شوند.

یکی از نشانه های مهم، اختلاف میان فشار ایستا و فشار حین جریان است. اگر سیستم در حالت بدون مصرف فشار را نگه دارد اما هنگام فعال شدن گاز افت قابل توجه مشاهده شود، باید مسیر تحت جریان بررسی شود.

خرابی Nebulizer Gas چه اثری بر نتیجه آنالیز دارد؟

Nebulizer Gas در انتقال نمونه از Nebulizer به Plasma نقش مستقیم دارد. مقدار Flow این مسیر بر تشکیل قطرات، سرعت گاز و میزان انتقال Aerosol تاثیر می گذارد.

اگر Flow بیش از مقدار مورد نیاز باشد، ممکن است زمان ماند ذرات و شرایط ورود آنها به Plasma تغییر کند. در مقابل، Flow پایین می تواند انتقال آئروسل را کاهش دهد. این تغییرات می توانند شدت Emission Lines را تغییر دهند و حتی نسبت Signal-to-Background را تحت تاثیر قرار دهند.

نشانه های خرابی مسیر Nebulizer

وقتی مسیر Nebulizer Gas دچار مشکل شود، برخی عناصر ممکن است کاهش سیگنال بیشتری نسبت به سایر عناصر نشان دهند. این وضعیت مخصوصا زمانی مهم است که Sample Introduction System در ظاهر سالم باشد ولی Sensitivity دستگاه کاهش یافته باشد.

در چنین شرایطی باید Nebulizer، Spray Chamber، Tubing و Gas Controller همزمان بررسی شوند تا مشخص شود کاهش سیگنال ناشی از انتقال نمونه است یا کنترل گاز.

Auxiliary Gas و تغییر موقعیت پلاسما

Auxiliary Gas در کنترل شرایط اطراف Injector و موقعیت Plasma نقش دارد. تغییر Flow این مسیر ممکن است محل قرارگیری ناحیه داغ پلاسما را تغییر دهد. این موضوع در روش های تحلیلی که Observation Height و Viewing Position اهمیت زیادی دارند، حساس تر است. اگر موقعیت پلاسما تغییر کند، شدت خط مورد استفاده برای Quantification نیز می تواند تغییر کند. به همین دلیل، پس از تعمیر مسیر Auxiliary Gas صرفا روشن شدن Plasma به معنی پایان سرویس نیست. باید Stability، شدت خطوط مرجع و در صورت نیاز Calibration Verification بررسی شود.

جدول مقایسه سه مسیر گاز در فرآیند عیب یابی

جدول زیر برای تشخیص تفکیکی مسیرهای گاز کاربرد دارد و نشان می دهد هر مدار چه پارامترهایی را تحت تاثیر قرار می دهد.

مسیر گازنقش اصلی در ICP-OESپارامتر کلیدینشانه خرابیقطعات درگیراثر احتمالی روی نتیجه
Plasma Gas ایجاد و حفظ محیط پلاسما Flow و Pressure خاموشی یا ناپایداری Plasma MFC، شیر، رگولاتور، Torch از بین رفتن یا نوسان سیگنال
Auxiliary Gas تنظیم موقعیت و شرایط Plasma Auxiliary Flow تغییر شکل یا موقعیت پلاسما MFC، Tubing، Torch تغییر شدت خطوط و Background
Nebulizer Gas انتقال Aerosol به Plasma Nebulizer Flow کاهش یا نوسان Aerosol MFC، Nebulizer، Tubing کاهش Sensitivity و Precision
Gas Inlet تامین گاز برای کل سیستم Inlet Pressure خطای عمومی Gas Supply Regulator، Filter، Fitting اختلال همزمان چند مسیر
Gas Controller تنظیم و Feedback جریان Setpoint/Actual Flow غیرقابل کنترل Sensor، Valve، PCB نوسان سیستماتیک داده

گرفتگی مسیر آرگون؛ عیب پنهان در مدار گاز

گرفتگی مسیر گاز همیشه به شکل کاهش کامل Flow ظاهر نمی شود. در برخی موارد محدودیت جریان تنها زمانی مشخص می شود که چند مسیر به صورت همزمان فعال شوند. فیلترهای گاز، مسیرهای باریک، شیرهای داخلی و اتصالات از نقاطی هستند که افزایش Resistance در آنها می تواند ظرفیت عبور گاز را کاهش دهد. اگر MFC برای رسیدن به Setpoint دائما فرمان بیشتری به شیر بدهد ولی Flow واقعی پایین باقی بماند، احتمال محدودیت مکانیکی در مسیر افزایش می یابد. برای تشخیص، بهتر است فشار در بخش های مختلف مدار مقایسه شود. اختلاف فشار غیرعادی در یک بخش مشخص می تواند محل Restriction را محدود کند.

عملکرد شیر تناسبی و خطاهای رایج آن

شیر تناسبی در Gas Controller برای تنظیم دقیق جریان استفاده می شود. آلودگی، فرسودگی مکانیکی، تغییر رفتار Coil یا مشکل در Driver می تواند باعث شود شیر نتواند جریان را مطابق فرمان کنترل کند.

خرابی شیر ممکن است سه حالت ایجاد کند:

  • Flow کمتر از Setpoint باقی می ماند.

  • Flow بالاتر از مقدار مورد انتظار قرار می گیرد.

  • Flow به صورت نوسانی تغییر می کند.

حالت سوم اهمیت زیادی دارد، زیرا ممکن است دستگاه ظاهرا در محدوده قابل استفاده باشد اما Repeatability نتایج از بین برود.

در سرویس تخصصی، پاسخ شیر نسبت به تغییرات Setpoint بررسی می شود. اگر با تغییر کوچک Setpoint، Flow واقعی با تاخیر زیاد یا جهش غیرطبیعی تغییر کند، رفتار Valve و Feedback Sensor باید بررسی شود.

کالیبراسیون Flow Controller پس از تعمیر

پس از تعویض MFC، سنسور Flow یا شیر کنترل، صرفا تنظیم نرم افزاری مقدار گاز کافی نیست. باید مقدار واقعی جریان با یک مرجع مناسب بررسی شود. فرآیند Verification می تواند شامل چند نقطه کاری باشد. برای مثال، اگر محدوده عملیاتی یک مسیر از حدود 0.5 تا 1.5 L/min باشد، بررسی فقط یک نقطه مانند 1.0 L/min اطلاعات کافی درباره Linearity کنترلر ارائه نمی کند. بهتر است چند نقطه در محدوده کاری دستگاه بررسی شوند. در این بررسی سه پارامتر اهمیت دارند:

  • Setpoint

  • Actual Flow

  • Reference Flow

اختلاف بین Actual Flow و Reference Flow باید در محدوده مجاز سیستم قرار داشته باشد. پس از آن، Stability در یک بازه زمانی مشخص بررسی می شود تا مشخص شود Controller فقط مقدار متوسط صحیح تولید می کند یا واقعا جریان پایدار دارد.

تاثیر خرابی سیستم گاز بر کالیبراسیون ICP-OES

یکی از خطاهای مهم در تعمیر ICP-OES این است که مشکل Gas System با مشکل Calibration اشتباه گرفته شود. اگر شرایط Plasma هنگام تهیه Calibration Standards با شرایط هنگام اندازه گیری Unknown Samples متفاوت باشد، پاسخ دستگاه قابل مقایسه نخواهد بود. برای مثال، تغییر جزئی در Nebulizer Gas می تواند مقدار Aerosol ورودی به Plasma را تغییر دهد. اگر این تغییر بین استانداردها و نمونه اتفاق بیفتد، Calibration Curve ممکن است ظاهرا قابل قبول باشد ولی Recovery نمونه واقعی دچار خطا شود. در نتیجه، بعد از تعمیر سیستم گاز باید علاوه بر بررسی فشار و Flow، عملکرد تحلیلی دستگاه نیز Verification شود.

روش تخصصی عیب یابی سیستم گاز از ورودی تا Torch

عیب یابی باید به صورت مرحله ای انجام شود تا محل خطا مشخص باشد. ابتدا فشار منبع و رفتار آن تحت مصرف بررسی می شود. سپس رگولاتور، فیلتر و مسیر ورودی مورد ارزیابی قرار می گیرند. در مرحله بعد، Gas Controller بررسی می شود. مقدار Setpoint باید با Actual Flow مقایسه شود. اگر اختلاف وجود داشته باشد، تست باید در شرایط مختلف تکرار شود. پس از آن، مسیر خروجی Controller تا Torch بررسی می شود. در این مرحله نشتی، گرفتگی، اتصال نادرست یا خرابی Tubing می تواند عامل اختلاف باشد. در نهایت، عملکرد هر سه مسیر Plasma، Auxiliary و Nebulizer باید جداگانه و سپس در شرایط کاری واقعی ارزیابی شود.

تستی که می تواند محل خرابی را سریع تر مشخص کند

فرض کنید فشار ورودی در حالت Standby برابر 80 psi باشد و هنگام فعال شدن Plasma به 60 psi کاهش یابد. اگر در همین زمان Plasma Gas Flow نیز افت کند، ابتدا باید ظرفیت تامین گاز، Regulator و مسیر ورودی بررسی شود. اما اگر فشار ورودی در همان شرایط تقریبا ثابت بماند و فقط Actual Flow یک MFC نوسان داشته باشد، احتمال خرابی در همان مسیر Controller، Valve یا Flow Sensor بیشتر است. اگر Actual Flow صحیح باشد اما عملکرد تحلیلی دستگاه تغییر کرده باشد، باید مسیر بعد از Controller شامل Tubing، Nebulizer، Torch و Sample Introduction System بررسی شود.

نشتی، اتصالات و Tubing؛ چرا تست ظاهری کافی نیست؟

بررسی ظاهری شیلنگ ها فقط آسیب های واضح را مشخص می کند. نشتی های کوچک ممکن است بدون ترک قابل مشاهده وجود داشته باشند. تغییر شکل Tubing، فرسودگی O-ring و شل شدن Fitting می تواند در فشار کاری باعث نشت شود.

در سیستم های دقیق، تست نشتی باید در شرایطی انجام شود که مدار تحت فشار و در صورت امکان تحت Flow واقعی قرار دارد. محل اتصال هایی که در حالت Static مشکلی ندارند ممکن است هنگام تغییر فشار یا دمای کاری رفتار متفاوتی نشان دهند.

پس از تعمیر چه پارامترهایی باید تایید شوند؟

پس از تعمیر سیستم گاز، چند مرحله Verification اهمیت دارد:

  • پایداری فشار ورودی: فشار باید در حالت Standby و هنگام فعال بودن Plasma بررسی شود تا افت غیرعادی زیر بار مشخص شود. اختلاف شدید بین این دو حالت می تواند نشان دهنده ضعف تامین گاز یا محدودیت مسیر باشد.

  • دقت Flow Controller: مقدار Setpoint باید با Actual Flow مقایسه شود. اختلاف پایدار یا نوسان Actual Flow می تواند نشان دهنده مشکل در MFC، Sensor یا Valve باشد.

  • پایداری Plasma: Plasma باید در طول زمان کارکرد بدون خاموشی یا تغییر شکل غیرعادی باقی بماند. تغییرات قابل مشاهده باید با داده های Flow تطبیق داده شود.

  • Repeatability سیگنال: پس از تثبیت سیستم گاز، یک محلول استاندارد چند بار اندازه گیری می شود. کاهش RSD نسبت به وضعیت قبل از سرویس می تواند نشان دهنده رفع مشکل Flow باشد.

  • Verification کالیبراسیون: Calibration Curve و Recovery استانداردهای کنترلی باید مجددا بررسی شوند تا مشخص شود تعمیر Gas System به پایداری واقعی اندازه گیری منجر شده است.

ارتباط سیستم گاز با سایر بخش های ICP-OES

سیستم گاز به صورت مستقل از Sample Introduction System عمل نمی کند. Nebulizer Gas مستقیما با Nebulizer و Spray Chamber در ارتباط است و تغییر آن می تواند رفتار آئروسل را تغییر دهد. از طرف دیگر، Plasma Gas و Auxiliary Gas با Torch و Injector ارتباط مستقیم دارند. بنابراین هنگام بررسی خرابی، باید شرایط Torch، Injector، Nebulizer و Spray Chamber نیز در نظر گرفته شود. برای مثال، کاهش Sensitivity می تواند از Nebulizer، گرفتگی Capillary، تغییر Flow یا آلودگی Torch ناشی شود. اگر بدون تفکیک این عوامل MFC تعویض شود، احتمال رفع نشدن مشکل وجود دارد.

چه زمانی تعمیر Gas Controller ضروری است؟

اگر Controller نتواند Flow را در مقدار تنظیم شده نگه دارد، زمان پاسخ آن غیرعادی شود یا اختلاف بین Setpoint و Actual Flow از محدوده قابل قبول خارج شود، بررسی تخصصی Controller ضروری است.

در چنین شرایطی بهتر است ابتدا مشخص شود مشکل در بخش Pneumatic است یا Electronic. اگر فشار ورودی مناسب باشد اما شیر پاسخ صحیح ندهد، مدار الکترونیکی و Valve باید بررسی شوند. اگر شیر عملکرد مناسبی داشته باشد ولی Feedback اشتباه باشد، Flow Sensor یا مدار اندازه گیری باید مورد بررسی قرار گیرد. این تفکیک برای جلوگیری از تعویض غیرضروری قطعات بسیار مهم است.

جمع بندی فنی تعمیر سیستم گاز آرگون در ICP-OES

عملکرد صحیح سیستم گاز آرگون در ICP-OES به مجموعه ای از پارامترهای وابسته به یکدیگر شامل Inlet Pressure، Gas Flow، عملکرد MFC، شیرهای کنترلی، سنسورهای Flow، مسیرهای Tubing و وضعیت Torch وابسته است. Plasma Gas باید شرایط پایدار تشکیل پلاسما را فراهم کند، Auxiliary Gas باید موقعیت و شرایط Plasma را کنترل کند و Nebulizer Gas باید انتقال پایدار Aerosol را تضمین کند.

بنابراین تعمیر سیستم گاز نباید با تعویض یک قطعه بر اساس یک علامت ظاهری انجام شود. مقایسه Setpoint و Actual Flow، اندازه گیری فشار در حالت های مختلف، بررسی رفتار سیستم تحت Load، کنترل نشتی و گرفتگی، ارزیابی عملکرد Valve و در نهایت Verification تحلیلی، مجموعه ای از تست هایی هستند که می توانند خرابی واقعی را از خطاهای ثانویه تفکیک کنند.

در یک سرویس تخصصی، هدف فقط روشن شدن Plasma نیست؛ هدف نهایی باید بازگشت سیستم گاز به شرایطی باشد که Flow پایدار، Plasma پایدار، Background قابل کنترل و پاسخ طیفی دستگاه در اندازه گیری های تکراری قابل اعتماد باشد.

10 / 10
از 1 کاربر