|
نوع سنسور فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
سنسور دمایی
|
|
نوع شیرمس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
دریچه الکترومغناطیسی متناوب بسته شده به طور معمول
|
|
گاز های قابل قبول فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2, etc.
(Gases not specifically mentioned here are subject
to calibration for N2 equivalent.)
|
Air,N2
|
|
محدوده جریان سرعت جریان مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
10 SCCM to 10 SLM
|
20 to 50 SLM
(20 to 30 SLM for CO2)
|
100, 150 SLM
|
200, 300 SLM
|
|
محدوده کنترل فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
2 to 100% (F.S.)
|
5 to 100% (F.S.)
|
|
زمان پاسخ دهی واکنش مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Total flow rate control range ≤ 1 sec (within ±2% F.S.)
|
≤ 1.5 sec / ≤ 3 sec less than 10%
(within ±2% F.S.)
|
≤ 2 sec (within ±2% F.S.)
|
|
خاصیت تکرار پدیری فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
±0.25%F.S.
|
±0.5%F.S.
|
|
دیفرانسیل عملیاتی
فشار مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
50 to 300 kPa
(100 to 300 kPa for Ar and CO2)
|
100 to 300 kPa
(150 to 300 kPa for Ar and CO2)
|
150 to 350 kPa
|
200 SLM : 200 to 350 kPa
300 SLM : 250 to 350 kPa
|
|
حداکثر فشار ورودی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
500kPa（G）
|
|
Pressure Proof
|
(980kPa（G
|
|
سرعت نشت خارجی مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
≤1.0 x 10-8 Pa·m3/sec (He)
|
≤1.0 x 10-7 Pa·m3/sec (He)
|
|
دما
دمای عملکرد فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
دقت دمای تضمین شده مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
سرعت ذخیره سازی مجاز فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
5 to 50℃
|
|
15 to 35℃
|
|
-10 to 60℃
|
|
میزان رطوبت عملیاتی مجاز فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
10 to 90% RH (without dew condensation)
|
|
مواد قابل تماس با بخش گاز در مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
SUS316, SUS316L, magnetic stainless steel, Ni, PTFE, PCTFE, and FKM
|
|
اتصالات برقی
|
D-sub 9-pin, KFC standard (SEMI standard compliant), RJ-45 modular jacks (two)
|
D-sub 9-pin ,
HR-10A (two)
|
|
سیگنال تنظیم سرعت جریان
|
0 to 5 V DC (input impedance: approx. 1 MΩ)
|
|
سیگنال خروجی جریان
|
0 to 5 V DC (load resistance 10 kΩ)
|
|
ارتباطات دیجیتال مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
تنظیم آدرس با سوئیچ چرخشی RS485: تا 99 دستگاه (9600 بیتی)
|
|
منبع برق مورد نیاز (DC)
|
+15 V DC (±5%) : 150 mA
-15 V DC (±5%) : 150 mA
|
+15 V DC (±5%) : 150 mA
-15 V DC (±5%) : 250 mA
|
24 V DC (±10%) : 450 mA
|
|
خط اتصالات فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
1/4 F900 (standard), 1/4 UJR, Rc 1/4
|
1/2 SW (standard), 3/4 SW
|
|
وضعيت نصب
|
نصب به صورت افقی
|
|
وزن مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Approx. 850 g
|
Approx. 1000 g
|
Approx. 2250 g
|
Approx. 3500 g
|