|
نوع سنسور فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
سنسور دمایی
|
|
نوع شیر مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
دریچه الکترومغناطیسی متناوب بسته شده
|
|
گاز های قابل قبول فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
تمامی گازها : N2 (Air, H2, He, Ar, O2, CO2)*2
|
|
محدوده جریان مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
10/30/50/100/300/500 SCCM, 1/3/5/10 SLM*2
|
|
محدوده کنترل مس فلوکنترلر گازی
|
2 to 100% (F.S.)
|
|
زمان پاسخ دهی واکنش فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
Total flow rate control range ±1 sec (within ±2% F.S.)
|
|
دقت دستگاه مس فلوکنترلر گازی
|
±1.0% S.P. (> 35% F.S.)
±0.35% F.S. (≤ 35% F.S.)
|
|
خاصیت تکرار پذیری فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
±0.25% F.S.
|
|
فشار اختلاف فشار مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
50 to 300 kPa (100 to 300 kPa for Ar and CO2)
|
|
بیشترین میزان فشار داخلی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
500kPa（G）
|
|
Pressure Proof
|
980kPa（G）
|
|
سرعت نشت خارجی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
≤1.0 x 10-8 Pa·m3/sec (He)
|
|
دما
دمای عملکرد فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
دقت دمای تضمین شده مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
سرعت ذخیره سازی مجاز فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
5 to 50℃
15 to 35℃
-10 to 60℃
|
|
میزان رطوبت عملیاتی مجاز
|
10 to 90% RH (without dew condensation)
|
|
مواد قابل تماس با بخش گاز
|
SUS316, SUS316L, magnetic stainless steel, Ni, PTFE, PCTFE, and FKM
|
|
اتصالات برقی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
D-sub 9-pin, KFC standard (SEMI standard compliant), RJ-45 modular jacks (two)
|
|
سیگنال تنظیم سرعت جریان مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
0 to 5 V DC (input impedance: approx. 1 MΩ)
|
|
سیگنال خروجی جریان فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
0 to 5 V DC (load resistance 10 kΩ)
|
|
ارتباطات دیجیتال مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Address setting with RS485 rotary switch : up to 99 devices (9600 bps)
|
|
منبع برق مورد نیاز (DC)
|
+15 V DC (±5%): 150 mA, -15 V DC (±5%): 150 mA
|
|
خط اتصالات
|
1/4 F900 (standard), 1/4 UJR, Rc 1/4
|
|
وضعيت نصب
|
Horizontal installation recommended.
|
|
وزن فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
Approx. 850 g
|