ادامه میکروسکوپ الکترونی روبشی sem چیست

بازگشت به لیست مقالات » | شنبه 25 خرداد 1398 در ساعت 16 : 20 دقیقه | نظرات کاربران ( 0 )

در ادامه مبحث میکروسکوپ الکترونی روبشی sem به سایر اجزاء و موارد مصرف این دستگاه می پردازیم.

محفظه نمونه:

این محفظه به بخش تخلیه کننده ای متصل است که جو داخل این محفظه را تخلیه می کند. علاوه بر لنز شی مواردی از فبیل پایه متحرک نمونه، دتکتور سیگنال الکترون ها، و دتکتور X ray نیز در این محفظه قرار دهی شده اند.
برای وارد ساختن نمونه به این محفظه، باید پرتو الکترون ساتع شده، خاموش شود و وکیوم درون محفظه آزاد شود و نیتروژن خشک به درون محفظه وارد گردد.
در این مرحله امکان ورود نمونه جدید وجود دارد که بعد از نمونه گذاری باید محفظه خالی از جو شود و وکیوم گردد.
ایجاد خلا خوب یک نکته بسیار مهم است و هر نقظه در منطقه تخلیه شده، باید بوسیله دستکش های ضد غبار مورد استفاده قرار بگیرد.
سیگنال های الکتریکی، به کابینت کنترل که دارای سیستم الکترونیکی برای بررسی دیتا ها می است، منتقل می شود و این سیگنال ها بوسیله این بخش به اطلاعات قابل شمارش یا قابل رویت تبدیل می شوند.

موارد استفاده:

استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی sem برای مشاهده و بهینه سازی سطح نمونه استفاده می شود. میکروسکوپ الکترونی روبشی sem برای تعبیر و تفسیر بر همکنش های بین نمونه و پرتو الکترون های ساتع شده از تفنگ الکترونی استفاده می شود. این دیتا ها به خاطر به وجود آمدن انتقالات الکترونی در اثر برهمکنش پرتو الکترون با سطح نمونه ایجاد می شود. انواع این برهمکنش ها و انتقالات به صورت زیر هستند.
سیگنال ها به شکل الکترون (الکترون های Auger ، الکترون های ثانویه یا secondary electrons، نوع سوم الکترون های backscattered)، انتقالات X ray شامل ( تشعشعات مشخصه یابی X ray که برای شناسایی استفاده می شوند، و تشعشعات X ray که در اثر عبور الکترون های اولیه از درون ساختار اتم و منحرف شدن آن ایجاد می شود و به الکترون های برم استرالانگ معروف هستند) و در نهایت پرتو های نوری (شامل نور مادون قرمز، مرئی و فرابنفش) بوجود می آیند.
همچنین ایجاد گرما، الکترونهای عبور کرده از نمونه و الکترونهای جذب شده در نمونه نیز به وجود می آیند.
با برخی از این سیگنال ها امکان مشاهده و مشخصه یابی نمونه ها در مواردی از قبیل، مورفولوژی سطح، نظام ساختار بندی و ترکیب شیمیایی مواد تشکیل دهنده را بررسی کرد.
درصورت وجود انرژی کافی در پرتو الکترون، امکان بهینه سازی و یا تصحیح سطح وجود دارد و امکان تغییر سطح نمونه به صورت نقظه ای وجود دارد. این امکان باعث ایجاد تغییرات نانو ساختار در سطح نمونه می شود. بیشترین کاربرد از این تکنیک در نوشتن و طراحی سطح نمونه با رزولوشنی در نانو مقیاس است که به تکنیک لیتوگرافی با پرتو الکترون شناخته می شود.