|
مشخصه
|
توضیحات
|
|
رزولوشن تصویر الکترون ثانویه میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
0.8 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm, Magnification 270,000×)※1 1.1 nm( Landing voltage 1 kV, WD=1.5 mm, Magnification 200,000×)*1
|
|
بزرگنماییمیکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
|
حالت بزرگنمایی کم میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
20 - 2,000× (Magnification on Photo)*2
|
|
حالت بزرگ نمایی زیاد میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
100 - 1,000,000× (Magnification on Photo)*2
|
|
آپشن های الکترونمیکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
|
تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
Cold cathode field emission source, Anode heating system, Mild flashing system
|
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
0.5 – 30 Kv (Normal optics)
|
|
ولتاژ فرود میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
0.01 – 2 Kv (Decelerating optics)
|
|
سیستم لنز های میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
3-Stage electromagnetic lens
|
|
دهانه لنز شیئی میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
Variable type (4 openings selectable and finely adjustable from outside the vacuum)
|
|
سیم پیچ Stigmator میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
Octopole electromagnetic system
|
|
سیم پیچ اسکن میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
2-stage electromagnetic deflection
|
|
کنترل محفظه
|
5-axis motor drive Regulus® stage
|
|
محدوده متغیر
|
X
|
0-110mm
|
|
Y
|
0-80mm
|
|
R
|
360°
|
|
T
|
-
|
|
Z
|
1.5 -40mm
|
|
تکرار پذیری پایدار
|
less than ±0.5 µm
|
|
تغییر تصویر الکتریکی میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
±12 µm (WD=8 mm)
|
|
آشکارساز میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
|
آشکارساز الکترونی ثانویه میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
Top / Upper / Lower, SE/BSE Signal mixing function (Upper), Top filter function (Top)*3
|
|
آشکارساز الکترون القایی میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
YAG BSED*3, Semiconductor type BSED*3
|
|
انتقال آشکارساز الکترونیک میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
STEM detector (for BF-STEM) *3, BF-STEM aperture*3, DF-STEM holder*3
|
|
سایر
|
Energy Dispersive X-ray spectrometer (EDX)*3, Electron Back Scattered Diffraction (EBSD)*3 (for SU8230, SU8240)
|
|
تخلیه اتوماتیک
|
Pneumatic valve system
|
|
محفظه تغییر نمونه
|
Vacuum level control system
|
|
پمپ خلاء
|
Ion pump ×3, Turbo molecular pump ×1, Scroll Dry pump (DRP) ×1*3
|
|
فشار سنج خلاء
|
Full range gauge ×1, Pirani gauge ×2
|
|
ضد آلودگی
|
Anti-contamination trap
|
|
کامپیوتر / نرم افزار میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
PC/AT compatible, OS: Windows*4
|
|
پورت اتصال دستگاه خارجی میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
USB interface, Network interface (Ethernet)
|
|
مانیتور
|
LCD (Display screen image：1,920×1,200 pixels), Chamberscope*3
|
|
حالت های نمایش تصویر
|
Full screen display (1,280×960 pixels), Single screen display (800×600 pixels), Dual screen display (800×600 pixels, ×2) Quad screen display (640×480 pixels), Reduced display
|
|
عملکرد ترازبندی خودکار
|
Auto Brightness and Contrast (ABCC), Auto Focus (AFC)
|
|
ذخیره داده تصویر
|
640×480 pixels, 800×600 pixels, 1,280×960 pixels, 2,560×1,920 pixels, 5,120×3,840 pixels
|
|
فرمت تصویر
|
BMP, TIFF, JPEG
|
|
چاپ داده های تصویر
|
Free layout print function provided
|
|
مدیریت داده ها
|
SEM Data Manager
|
|
نرم افزار
|
CD measurement function, CD measurement for external PC, Hi-Mouse, TCP/IP communication interface DBC interface
|
|
سایر
|
Microscale (standard sample for calibration) *3, Joystick*3
|
|
ابزارهای مورد نیاز میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
|
دما
|
15 - 25 ℃
|
|
رطوبت
|
60％(RH) or less (non-condensing)
|
|
برق مصرفی
|
AC100 V - 240 V ±10％, 4 kVA (Crimp contact for M6)
|
|
مقاومت
|
Class D independent grounding (100 Ω or less)
|
|
آب خنک کننده
|
Flow 1.0 - 1.5 L/min, Pressure 50 - 100 kPa, Temperature 10 - 20℃ (allowable fluctuations 0.5℃/10 min or less, difference from room temperature must be within 7℃) Supply faucet Rc3/8 tapered female thread ×1, Drain port 20 mm dia. or more ×1 (natural drain type located on floor)
|
|
کمپرسور هوا
|
600 - 800 kPa (RC1/4 tapered female thread)*3 *5
|
|
آپشن ها
|
N2 Gas leak port*3, Autotransformer*3
|
|
وزن و ابعاد میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
|
واحد اصلی
|
850(W) × 990(D) × 1,745(H) mm, 745 kg
|
|
واحد صفحه نمایش
|
1,100(W) × 1,120(D) × 730(H) mm(Not including monitor height), 275 kg
|
|
پمپ خشک
|
260(W) × 400(D) × 340(H) mm, 25 kg
|
|
وزن
|
200(W) × 180(D) × 160(H) mm, 40 kg
|
|
کمپرسور هوا
|
420(W) × 210(D) × 520(H) mm, 16 kg
|
|
سیرکولاتور آب
|
Option
|