مشخصات کلی

میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

  • مدل : JSM-7610F plus
  • سازنده : Jeol 

میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی Field Emission Scanning Electron Microscope مدل JSM-7610F plus محصول شرکت Jeol از پیشرفته ترین محصولات میکروسکوپ الکترونی نشرمیدانی FE-SEM در جهان می باشد. سیستم اپتیکی جالب میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM مدل JSM-7610F plus برای به دست آوردن کیفیت تصویر بهتر (kV  15 0.8 nm @، kV 1  1.0 nm @) به روز شده است و در حال حاضر بعنوان JSM-7610FPlus در دسترس است. لنزهای شیئی از نوع  Semi-in lensو دارای اپتیک قدرتمند سیستم تابش پرتو با وضوح بالا و توانایی تجزیه و تحلیل پایدار را فراهم می کند. علاوه بر این، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus می تواند نیازهای مختلف کاربر، از جمله مشاهده در ولتاژ شتاب پایین با حالت پرتو آرام و انتخاب سیگنال با استفاده از r-فیلتر را برآورده سازد . 

معرفی محصول

محصولات میکروسکوپ ‌الکترونی نشر میدانی FE-SEM ، تصویربرداری با قدرت تفکیک بالا در ولتاژهای پایین و کمترین فاصله کاری را امکان پذیر می‌سازد. از دیگر ویژگی های میکروسکوپ ‌های الکترونی روبشی گسیل میدانی Field Emission Scanning Electron Microscope  می‌توان به قابلیت کار از راه دور، عدم نیاز به نیتروژن مایع، مجهز بودن به دوربین های داخل محفظه، پمپ‌های خلاء سریع، سیستم‌های ضد ارتعاش و نرم افزارهای پیشرفته اشاره کرد.

ویژگی ها

لنزهای شیئی Semi-in Lensمیکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

طراحی لنزهای شیئی Semi-in Lens میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus به گونه ای است که امکان مشاهده با وضوح تصویر فوق العاده بالا توسط آشکارساز in-lens را فراهم می کند.

میکروسکوپ الکترونی نشر میدانی FESEM

Sample: Platinum Catalyst Nano Particles on Carbon 15kV

اپتیک های قدرتمند میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

یک سیستم اپتیکی الکترونی منحصر به فرد ، در میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM مدل JSM-7610F plus اجازه می دهد تا آنالیزهای مختلف و مشاهده در بزرگنمایی بالا به سهولت و با وضوح بالا انجام گیرد. تفنگ الکترونی انتشار میدانی و لنز Schottky که می تواند 10 برابر جریان پروب را که از تفنگ الکترونی Schottky field emission خارج می شود را در طول لنز کنترل زاویه دیافراگم (ACL) ارسال کند و نیز می تواند قطر پروب کوچک را با زاویه همگرایی مناسب حتی با افزایش جریان پروب و همچنین امکان استفاده از جریان پروب  200 نانوآمپر یا بیشتر را فراهم آورد. میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7610F plus ، اپتیک قدرتمندی را به وجود می آورد که متناسب با کارایی مورد نیاز از مشاهده ، بزرگنمایی تا آنالیز EDS و آنالیز EBSD را به راحتی انجام می دهد.

میکروسکوپ الکترونی روبشی FESEM

 

تفنگ الکترونی با لنز Schottky میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی انتشار میدانی FESEM

 

تفنگ الکترونی نشر میدانی با لنز داخلیSchottky  ترکیبی از تفنگ الکترون با یک لنز کندانسور با انحراف کم می باشد که برای جمع آوری کارآمد الکترون هایی که تفنگ الکترونی تولید می کنند ، استفاده می شود.

لنز کنترل زاویه دیافراگم (ACL) میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی گسیل میدانی FESEM

 

لنز کنترل زاویه دیافراگم (ACL) در بالای لنز شیئی قرار گرفته است تا به طور خودکار بهینه سازی زاویه دیافراگم لنز هدف را در سراسر محدوده جریان پروب در نظر بگیرد. این  عمل باعث می شود که قطر پروب کوچکتر از سیستم های متعارف باشد و نیز حتی زمانی که جریان پروب بزرگ است نیز امکان پذیر باشد.

قطر پروب کوچک حتی در جریان پروب زیاد در میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی FESEM

 

جریان پروب با پایداری بالا برای زمان های آنالیز بیشتر در میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

تفنگ الکترونی در میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus با لنز داخلیSchottky  میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus جریان پروب پایدار را فراهم می آورد. 

FESEM

حالت GENTLEBEAM در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus

FESEM

در حالت GENTLEBEAM میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus ، یک ولتاژ به نمونه برای کاهش ولتاژ فرود الکترون ها درست قبل از برخورد با نمونه اعمال می شود و امکان مشاهده با وضوح بالا با ولتاژ شتابی تا 100 ولت را فراهم می کند.

از آنجا که منطقه پراکندگی پرتو الکترون در داخل نمونه کوچک است، ساختارهای میکروارگانیسم روی سطح نمونه قابل مشاهده است و تاثیر آن روی نمونه هایی که به گرما حساس هستند  و نسبت به گرما آسیب پذیرند ، می تواند کاهش یابد. نمونه های نارسانا را می توان با کاهش شارژ مشاهده کرد.

رزولوشن kV1 حالت GB میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی Field Emission Scanning Electron Microscope مدل JSM-7610F plus برابر با 1.0 نانومتر است.

اثرات حالت GENTLEBEAM در میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

حالت GB میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus ، رزولوشن را حتی در ولتاژ شتاب کم بهبود می بخشد.

FESEM

رزولوشن بهبود یافته در ولتاژ شتاب کم در میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

FESEM

نسل جدید  r-filter میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM

نسل جدید r-filter میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus دارای یک فیلتر انرژی منحصر به فرد است که ترکیبی از یک الکترود کنترل الکترون ثانویه، یک الکترود کنترل الکترون بازگشتی و یک الکترود فیلتر می باشد. هنگامی که سطح نمونه تحت تابش پرتو الکترون میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM مدل JSM-7610F plus قرار می گیرد، الکترون با انرژی های مختلف از سطح منتشر می شود. فیلتر جدید r میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus امکان انتخاب الکترون های ثانویه و الکترون های بازگشتی از نمونه را فراهم می کند ، در حالیکه پرتو الکترون در مرکز لنز با استفاده از ترکیبی از میدان های الکترواستاتیکی چندگانه نگهداری می شود. در مقایسه با r-فیلتر مدل قبلی، نسل جدید r-filter دارای 3 برابر افزایش سیگنال می باشد.

تشخیص سیگنال با نسل جدید  r-filter

میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

آشکارساز LABLE (آپشن) میکروسکپ الکترونی روبشی FESEM مدل JSM-7610F plus

میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

آشکارساز LABE ( الکترون بازگشتی با زاویه کوچک ) میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی Field Emission Scanning Electron Microscope مدل JSM-7610F plus قادر به تشخیص انرژی الکترون بسیار کم انرژی و الکترون های بازگشتی با زاویه بسیار کوچک می باشد که قبلا قادر به تشخیص نبوده اند.

اطلاعات دقیق توپولوژیکی می تواند سطح نمونه در ولتاژ های شتاب بسیار پایین را به دست آورد و اطلاعات ترکیب شده برای نمونه را می توان با وضوح عالی در ولتاژ شتاب بالا مشاهده کرد.

آشکارساز LABE : تصاویر الکترون بازگشتی با زاویه کوچک

میکروسکوپ الکترونی نشر میدانی FESEM

کنتراست کانال بین دانه های کریستالی فیلم نازک را می توان با استفاده از الکترون های بازگشتی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus با یک ولتاژ شتاب بسیار پایین مشاهده کرد.

محفظه نمونه بهینه شده میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus برای آنالیز

محفظه نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus طراحی شده امکان نصب دتکتورهای  مختلف را در طرح مطلوب، از جمله دتکتور الکترون ثانویه، دتکتور الکترون بازگشتی، EDS، EBSD، WDS، STEM و آشکارساز کاتدولومینسانس را فراهم نماید.

دتکتور الکترون های ثانویه، EDS و EBSD در میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM مدل JSM-7610F plus قرار گرفته است تا بتواند همزمان در یک نمونه شیب دار با پورت EBSD عمود بر شیب eucentric در جایگاه  قرار گیرد.

میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM

 

مشخصات فنی

مشخصات فنی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7610F plus

مشخصه

توضیح

رزولوشن تصویر الکترون ثانویه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

0.8 nm(Accelerating voltage 15 kV)
1.0 nm(Accelerating voltage 1 kV GB mode)
During analysis 3.0 nm (Accelerating voltage 15 kV, WD 8 mm, Probe current 5 nA)

بزرگنمایی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90mm)
Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels)

ولتاژ شتاب میکروسکپ الکترونی روبشی SEM

0.1 to 30 kV

جریان پروب میکروسکپ الکترون روبشی SEM

A few pA to ≥ 200 nA

تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

In-lens Schottky field emission electron gun

سیستم لنز میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM

(Condenser lens (CL
(Aperture-angle control lens (ACL
(Semi-in lens objective lens (OL

استیج نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

Fully eucentric goniometer stage

حرکت نمونه میکروسکپ الکترونی روبشی SEM

Specimen stage
Standard

type I A2
X : 70 mm
Y : 50 mm
Z : 1.0 ~ 40 mm
Tilt: -5 to +70°
Rotation: 360°

نگهدارنده نمونه میکروسکپ الکترون روبشی SEM

12.5 mm diameter × 10 mm thick, 32 mm diameter × 20 mm thick

تعویض نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM

One-action exchange mechanism

سیستم آشکارساز الکترون میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

Upper detector, r-filter, Built-in, Lower detector

عملکرد اتوماتیک میکروسکپ الکترونی روبشی SEM

Focus, Stigmator, Brightness, Contrast

LCD مشاهده تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

Screen size: 23-inch wide
Maximum resolution: 1,280 × 1,024 pixels

سیستم کنترل SEM

PC: IBM PC/AT compatible computer
OS: Windows® 7 Professional*

مودهای نمایش و اسکن میکروسکپ الکترونی روبشی SEM

Full-frame scan
Real magnification
Selected- area scan
(Two-image display (with different magnifications, different image modes
Two-image wide display
(Four-image display (four-signal live display
(Addition image (4 images + addition image
Scale

سیستم تخلیه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

Gun chamber, first and second intermediate chambers: Ultra high-vacuum dry evacuation system using ion pumps
(Specimen chamber: Dry evacuation system using a turbo-molecular pump (TMP

فشار میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

(Gun chamber: Order of 10-7 Pa (for standard configuration
(Specimen chamber: Order of 10-4 Pa (for standard configuration

دانلودها

دانلود کاتالوگ میکروسکوپ الکترونی روبشی دانلود کاتالوگ
دانلود کاتالوگ میکروسکوپ الکترونی روبشی دانلود کاتالوگ میکروسکوپ الکترونی روبشی

محصولات مرتبط

ارسال نظر
عنوان نظر :
نام شما :
ایمیل :
10 / 10
از 1 کاربر