|
مشخصه
|
توضیح
|
|
رزولوشن تصویربرداری الکترون ثانویه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
1.0 nm （15 kV）, 1.5 nm （ 1 kV, GB mode） During analysis 3.0 nm （15 kV、 WD 8mm、 probe current 5 nA）
|
|
بزرگنمایی میکروسکوپ الکترون روبشی FESEM
|
×25 to ×19,000 （LM mode）
×130 to ×1,000,000 (SEM mode)
|
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
0.01 kV to 30 kV
|
|
جریان پروب میکروسکپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
A few pA to 200 nA
|
|
تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترون روبشی SEM
|
In-lens Schottky field-emission gun
|
|
سیستم لنز میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM
|
Condenser lens Semi-in-lens objective lens Aperture angle control lens (ACL)
|
|
آشکارساز میکروسکوپ الکترونی روبشی FESEM
|
Upper detector (SED)、 Lower detector (LDD)
|
|
فیلتر انرژی میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
r-filter (Built-in)
|
|
حالت پرتو آرام میکروسکوپ الکترون روبشی SEM
|
Built-in
|
|
محفظه نمونه میکروسکپ الکترون روبشی SEM
|
Maximum specimen size 200 mm diameter
|
|
استیج نمونه میکروسکوپ الکترون روبشی SEM
|
Full eucentric goniometer stage, Computer-controlled 5-axis (X, Y, R, T, Z) motor dive (with backlash correction)
|
|
X
Y
WD (Z)
Tilt
Rotation
|
70 mm
50 mm
1 mm to 40 mm
-5 to +70°
360°
|
|
تعویض نمونه میکروسکوپ الکترونی نشر میدانی FE-SEM
|
Load lock chamber, single-touch chucking
|
|
نگهدارنده نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
For 12.5 mm diameter × 10 mm thick, For 32 mm diameter × 20 mm thick
|
|
سیستم کنترل SEM
|
PC IBM PC/AT compatible
OS Windows ®7 Professional
|
|
LCD مشاهده تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی FESEM
|
Screen size 23-inch, Maximum resolution, 1280 × 1024 pixels
|
|
حالت های اسکن و نمایش میکروسکپ الکترون روبشی SEM
|
Full-frame scan, direct magnification, reduced-area scan, CF scan, HD scan, 2-segment display (different magnification, different image), 2-segment wide display 4-segment display (simultaneous 4 signal live display), addition image (4 images + addition image) Scale
|
|
عملکرد خودکار میکروسکپ الکترون روبشی SEM
|
Focus、 Astigmatic、 Brightness、 Contrast
|