مشخصات کلی

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

مدل : VEGA3
شرکت سازنده : TESCAN
کشور سازنده : جمهوری چک

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 ساخت شرکت TESCAN ، کشور جمهوری چک می باشد. میکروسکوپ الکترون روبشی SEM با قابلیت حرارتی چند گانه در نظر گرفته شده است که برای هر دو عملکرد خلاء کم و خلاء زیاد طراحی شده است. با توجه به طیف گسترده ای از برنامه های SEM و نیاز آن در تحقیقات و صنعت ، میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 کاربران را با مزایای استفاده از آخرین تکنولوژی ، از قبیل بهبود پیشرفته الکترونیک برای به دست آوردن هر چه سریعتر تصویر، سیستم اسکن فوق العاده سریع با جبران انحرافات استاتیکی و دینامیکی تصاویر برای برنامه های کاربردی تعریف شده است .

معرفی محصول

تصویربرداری با وضوح بالا در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

چهار لنز منحصر به فرد Wide Field Optics برای میکروسکوپ الکترونی SEM توسط خواص لنز میانی (IML) طراحی شده که ارائه دهنده حالت کار و نمایش است .
سرعت تصویربرداری فوق العاده سریع تا 20 نانومتر / پیکسل در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 می باشد .
میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 ، با به حداقل رساندن میزان اثر دینامیکی، تصویر برداری می کند .
سیستم In-Flight Beam Tracing میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 در زمان واقعی پارامترهای اپتیکی را برای دقت بالا محاسبه می کند.
طراحی ستون ، بدون هر گونه عناصر مرکزی مکانیکی می تواند راه اندازی و هماهنگ سازی ستون ها را در میکروسکپ الکترونی SEM مدل VEGA3 کاملا خودکار کند.
تصویربرداری منحصر به فرد میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 با استفاده از پیشرفته تکنولوژی پرتو سه بعدی ، تصویر برداری در مقیاس های میکرو و نانو را به صورت سه بعدی امکان پذیر کرده است.

ویژگی ها

پتانسیل آنالیز در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

محفظه SB میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 به صورت 3محوری تجهیز شده است . بقیه محفظه های مهرو موم شده میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 شامل LM ، XM و GMمی باشد که ارائه دهنده هدایت نمونه با استفاده از 5 محور به طور کامل موتورایز شده و شکل هندسی ایده آل EDX و EBSD می باشد .
میکروسکپ الکترونی SEM مدل VEGA3دارای دتکتور YAG مبتنی بر Scintillator می باشد. انتخاب آشکارسازها و لوازم جانبی دیگر در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM امکان پذیر است .
عملکرد کامل سیستم خلاء میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 می تواند مورد استفاده قرار گیرد. خلاء میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 در حداقل زمان توسط توربومولکولار قدرتمند و چرخشی برای پمپ های خلاء این میکروسکوپ الکترونی روبشی SEMصورت می گیرد .
میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 ، توانایی بررسی نمونه های نارسانا درفشارها و ورژن های مختلف (UniVac) را دارا می باشد.
قابلیت اندازه گیری های 3D توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 بر روی سطوح بازسازی شده با استفاده از نرم افزار3D Metrology امکان پذیر می باشد.
نگهداری میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 در حالت پیک آسان است و به حداقل زمان خاموش کردن میکروسکوپ نیاز دارد.
همه جزئیات با دقت طراحی شده است تا عملکرد میکروسکوپ به حداکثر و تلاش اپراتور به حداقل رسانده شود.
حرارت دادن فیلامنت و تراز کردن تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 برای عملکرد پرتو مطلوب به صورت خودکار ، با یک کلیک انجام می شود. روش های دیگری نیز وجود دارد که زمان تنظیم را برای میکروسکوپ الکترونی کاهش می دهد، از جمله جهت یابی خودکار و دستی و آنالیز خودکار از جمله این متدها می باشد.
رابط کنترل از راه دور SharkSEM میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 ، امکان دسترسی به اکثر ویژگی های میکروسکوپ از جمله کنترل خلاء میکروسکوپ، کنترل نور، کنترل مرحله، گرفتن تصویر و غیره را فراهم می کند. تمام این ویژگی ها به صورت متن فشرده توسط سیستم Python قابل ارائه است .

پیکربندی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

VEGA3 SB

حالت خلاء زیاد در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM به صورت سه محوری برای بررسی نمونه هایی که حاوی رسانایی کم تری می باشد، تجهیز شده است .

پروب آسان - VEGA3 SB

پروب آسان یک بسته مطلوب از یک میکروسکوپ الکترونی روبشی Scanning Electron Microscope است که به طور کامل با میکروآنالایزر EDX انتخاب شده است. پروب آسان در هر دو نوع خلاء و فشار متغیر موجود است. این سیستم حاوی صفحه نمایش لمسی می باشد.

میکروسکپ SEM

VEGA3 LMH / XMH / GMH

مدل های بزرگ / فوق العاده بزرگ / غول پیکر در خلاء بالا برای بررسی نمونه های رسانا با کیفیت تصویر فوق العاده عمل می کنند.

VEGA3 SBU / LMU / XMU / GMU

فشارهای مختلف میکروسکوپ های الکترونی روبشی SEM ، تمام مزایای استفاده از مدل های خلاء زیاد را تکمیل می کند که این ویژگی با عملکرد گسترده میزان خلاء کم ، امکان بررسی نمونه های غیر رسانا در حالتی که فاقد پوشش است وجود ندارد .

میکروسکوپ SEM

پیکربندی VEGA3 XM و GM در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

پیکربندی XM و GM میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل ، VEGA3توانایی تحلیلی گسترده ایی را ارایه میدهد و توانایی انجام مشاهدات سطحی نمونه ، حتی در نمونه های بسیار بزرگ را نیز فراهم می کند. علاوه بر توانایی بررسی سطح نمونه در نمونه های بسیار بزرگ، محفظه GM، ویژگی های میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3 با پتانسیل آنالیز عالی را گسترش می دهد و تعداد زیادی از آشکارسازها و تکنیک های (SE، BSE، LVSTD، EDX، EBSD) را نیز فعال می کند.

میکروسکپ SEM

سیستم نرم افزار میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA آسان ترین راه برای رسیدن سریع به نتایج

رابط قابل مشاهده کنترلی EasySEMTM میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA ظرف چند دقیقه نمونه را تست می کند. میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA سطح بالایی از سیستم اتوماسیون و خود تشخیصی ، در حال اجرا در پس زمینه، اطمینان از نتایج ارزشمند حتی برای کاربران بی تجربه را فراهم می سازد .MicroAnalysis EasyEDX به طور کامل و یکپارچه نتایج کمی آنالیز عناصر را به طور مستقیم به تصویر تبدیل کرده که این پروسه تنها بصورت لمسی صورت می گیرد . آنالیز نقطه و منطقه و نیز مشخصات خطی کمی و نقشه برداری آرایه (تا 1024 نقطه) توسط این سیستم قابل انجام است .

مشخصات نرم افزار استاندارد میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

نرم افزار استاندارد به صورت انتخابی در میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3

نرم افزار کاربر پسند میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3
محیط کاربری میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 به صورت چند زبانه می باشد.
کنترل آسان میکروسکوپ الکترونی SEM مدل VEGA3حتی برای کاربران بی تجربه؛ از جمله حالت EasySEM برای تحقیقات روزمره و سریع امکان پذیر است.
مدیریت تصویر و ایجاد گزارش توسط میکروسکپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 صورت می گیرد .
امکان خود عیب یابی برای چک کردن آمادگی سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3 ، وجود دارد .
عملیات شبکه و دسترسی از راه دور / تشخیص میکروسکپ الکترونی SEM مدل VEGA3 را در دسترس می سازد .

مشخصات فنی

مشخصات فنی محفظه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

	SB Chamber	LM Chamber	XM Chamber	GM Chamber
سایز داخلی محفظه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM	160 mm	230 mm	290 mm (w) × 340 mm (d)	340 mm (w) × 315 mm (d)
درب محفظه میکروسکپ الکترونی روبشی SEM	120 mm (width)	148 mm (width)	290 mm (w) × 322 mm (h)	340 mm (w) × 320 mm (h)
تعداد پورت های محفظه میکروسکوپ الکترونی SEM	10	11+	12+	20+
محفظه و سوسپانسیون ستون محفظه میکروسکپ الکترونی SEM	Mechanical – by means of rubber elements	Pneumatic or optionally Mechanic (rubber elements - not available for LaB6 option) Integrated active vibration isolation	Pneumatic or optionally Integrated active vibration isolation	Integrated active vibration isolation

مشخصات فنی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل VEGA3

	SB EasyProbe/SB	LM/XM/GM
تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM	Tungsten heated cathode	Tungsten heated cathode / optionally LaB6
رزولوشن میکروسکپ الکترونی روبشی SEM	3 nm at 30 keV 8 nm at 3 keV 3.5 nm at 30 keV	3 nm at 30 keV / 2 nm at 30 keV1 8 nm at 3 keV / 5 nm at 3 keV1 3.5 nm at 30 keV / 2.5 nm at 30 ke
محفظه خلاء میکروسکوپ الکترونی SEM	Chamber – High – vacuum mode Chamber – Medium – vacuum mode4 Chamber – Low – vacuum mode Column vacuum Gun vacuum for LaB6 < 9 × 10-3 Pa2 3 – 150 Pa 3 – 500 Pa5 < 9 × 10-3 Pa2	< 9 × 10-3 Pa2 3 – 150 Pa 3 – 500 Pa5 (optionally: 3 – 2000 Pa5) < 9 × 10-3 Pa2 < 3 × 10-5 Pa
بزرگ نمایی متوالی میکروسکپ الکترونی SEM	3 × – 1,000,000 ×	2 × – 1,000,000 × (LM), 1 × – 1,000,000 × (XM/GM)
اپتیک الکترونی در حالت کارکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM	High-vacuum mode Low-vacuum mode Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling Resolution, Depth
ناحیه قابل مشاهده میکروسکپ الکترونی روبشی SEM	7.7 mm at WDanalytical 10 mm 24 mm at WD 30 mm
انرژی الکترون پرتو میکروسکوپ الکترونی SEM	200 eV to 30 keV
جریان پروب میکروسکپ الکترونی SEM	1 pA to 2 μA
سرعت اسکن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM	From 20 ns to 10 ms per pixel adjustable in steps or continuously
ویژگی های اسکن میکروسکپ الکترونی روبشی SEM	Focus window (shape, size and position continuously adjustable), Dynamic Focus – in plane tilted or folded plane up to ± 70 deg, Point & Line Scan, Image rotation, Image shift, Tilt compensation, 3D Beam – defined tilting scanning axis around XY axis, Life Stereoscopic Imaging, Other scanning shapes available through the optional DrawBeam software
سایز تصویر میکروسکوپ الکترونی SEM	16,384 ×16,384 pixels, adjustable separately for live image (in 3 steps) and for stored images (11 steps), selectable square or 4:3 or 2:1 rectangle. Unlimited large panorama image size (up to storage capacity).
کنترل میکروسکوپ میکروسکپ الکترونی SEM	All microscope functions are controlled by keyboard, mouse and trackball via the program VegaTC using Windows™ platform. Control panel and touchscreen optionally available.
روش های اتوماتیک میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM	In-Flight Beam Tracing™ beam optimization, Spot Size a Beam Current Continual, WD (focus) & Stigmator, Contrast & Brightness, Scanning Speed (according to Signal- Noise Ratio), Gun Heating, Gun Centering, Column Centering, Vacuum Control, Compensation for kV, Look-Up Table, Auto-diagnostics
کنترل از راه دور میکروسکپ الکترونی روبشی SEM	Via TCP/IP, open protocol

دانلودها

دانلود کاتالوگ میکروسکوپ الکترونی روبشی
دانلود کاتالوگ میکروسکوپ الکترونی روبشی