|
مشخصه
|
توضیح
|
|
اپتیک الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
گسیل میدانی با وضوح بالا
دریچه شیئی ثابت برای سهولت عملیات
هندسه لنز 45 درجه ای با پمپاژ از طریق لنز و دریچه شیئی گرم
حداکثر عرض میدان افقی: 6.5 میلیمتر در فاصله کاری آنالیز (10 میلیمتر)؛ 11.3 میلی متر در 25 میلیمتری WD ؛ 50 میلی متر با حالت مونتاژ
ولتاژ شتاب: 200 ولت تا 30 کیلو ولت
جریان پروب: تا 2μA ، قابل تنظیم به طور مداوم
بزرگنمایی: 13 تا 1000000 برابر
|
|
رزولوشن الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
خلاء زیاد
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
8.0 nm at 3 kV (SE)
|
خلاء زیاد با کاهش سرعت پرتو
7.0 nm at 3 kV (BD mode* + DBS*)
|
خلاء کم
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
10 nm at 3 kV (SE)
|
حالت خلاء گسترش یافته (ESEM)
3.0 nm at 30 kV (SE)
|
|
آشکارسازهای میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Everhart Thornley SED(آشکارساز الکترونی ثانویه)
میدان بزرگ خلاء کم SED (LFD)
SEDگازی (GSED) (در حالت ESEM مورد استفاده قرار می گیرد)
دوربین IR برای مشاهده نمونه در محفظه
حسگر BSE برای فشار بالا، مورد استفاده در حالت (ESEM)
BSED جهت دار می تواند در حالت الکترون بازگشتی (CBS) یا در حالت الکترون بازگشتی زاویه دار (ABS) مورد استفاده قرار گیرد.
اندازه گیری جریان پرتو الکترونی
BSEDتحلیلی گاز (GAD)
STEM-Iجمع شونده STEM-III جمع شونده
دوربین نوری Nav-Cam برای انتقال نمونه
کاتودولومینسانس
ESEM-GAD
EDS
WDS
EBSD
|
|
محفظه میکروسکوپ الکترونی SEM
|
اندازه 284 میلی متر چپ به راست
10 میلی متر WD تحلیلی
8 پورت
زاویه EDS برابر با 35 درجه
|
|
صفحه قرارگیری نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
X-Y = 50 mm
Z = 50 mm (25 motorized)
T = - 15° to + 75° (manual)
R = 360° continuous
Repeatability: 2 µm (x and y)
شیب-اکولایزر در ارتفاع تحلیلی (10 میلی متر)
حرکات x و y در سطح شیب قرار دارند.
کاهش سرعت پرتو (لنز کاتدی / نمونه)
|
|
نگهدارنده نمونه میکروسکوپ الکترونی SEM
|
نگهدارنده چند نمونه ای
ویفر های مختلف و نگدارنده سفارشی (های) موجود در صورت درخواست
کیت نگهدارنده نمونه
|
|
کنترل سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
رابط کاربری گرافیکی با ویندوز 7، صفحه کلید، موس نوری
یک / دو ، صفحه نمایش LCD
یک صفحه کلید و ماوس
Joystick
رابط کاربری دستی
|
|
پردازنده تصویر میکروسکوپ الکترونی SEM
|
حداکثر 4096 × 3536 پیکسل (~ 14 مگابایت)
نوع فایل : TIFF (8, 16, or 24-bit RGB), BMP or JPEG
سیگنال زنده یا استاتیک مخلوط رنگی و یا سیاه و سفید
256 قاب متوسط یا ادغام
هیستوگرام تصویر و نرم افزار اندازه گیری
|
|
پشتیبانی از ویژگی های نرم افزار میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
استراتژی اسکن SmartSCAN و DCFI
جهت یابی اتوماتیک
کنترل دما SW با صفحه نگهدارنده نمونه FEI داغ یا سرد آپشن
تهیه تصویر با فاصله 1 تا 4
عملکرد ذخیره عکس چندگانه
نمایش تصویر در یک مانیتور جداگانه اجازه تصویربرداری از روی صفحه نمایش دو برابر از آشکارسازهای مختلف را می دهد.
|
|
آپشن های سیستم میکروسکوپ الکترونی SEM
|
کاهش سرعت پرتو
رابط کاربری دستی
پشتیبانی از کامپیوتر (از جمله مانیتور 19 اینچی دوم)
SW کنترل شده توسط Peltier صفحه نگهدارنده نمونه خنک شده
SW کنترل شده سیستم WetSTEM SM
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1000 درجه سانتیگراد
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1400 درجه سانتی گراد
Cryocleaner
Joystick
SW کنترل از راه دور
چاپگر تصویری
کیت نگهدارنده نمونه
محفظه آکوستیک برای پمپ خلاء
7 یا 52 پین تغذیه الکتریکی
پرتو الکترواستاتیک
کیت تکمیل WDS
کیت پمپ پیش خلاء اسکرول بدون روغن
کیت گاز کمکی (برای گازها به جای آب)
|
|
لوازم جانبی آپشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
EDS
WDS
EBSD
Cryo stage
Cathodoluminescence
Sample current detector
Nanomanipulators
Lithography system
CAD navigation
Electrical probing
Raman
|
|
مستند سازی و پشتیبانی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
کمک آنلاین
CD آموزش Quanta Getting Started
RAPID فعال (پشتیبانی از راه دور تشخیصی)
عضویت رایگان در باشگاه کاربری FEI ESEM
|
|
آپشن های نرم افزاری میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
کنترل از راه دور / مشاهده نرم افزار
نرم افزار تجزیه و تحلیل تصویر
نرم افزار آرشیو داده با استفاده از وب
نرم افزار اندازه گیری ارتفاع / اندازه گیری زبری
|
|
الزامات نصب و راه اندازی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
برق: ولتاژ 230 ولت (+ 6٪، - 10٪)، فرکانس 50 یا 60 هرتز (+/- 1٪)
مصرف انرژی: < kVA3.0 برای میکروسکوپ پایه
مقاومت زمین: < 0.1Ω
محیط: محدوده حداکثر دما برای عملیات 15 درجه سانتی گراد تا 25 درجه سانتی گراد
رطوبت نسبی زیر 80٪ RH (غیر متراکم)
میدان مغناطیسی پراکنده AV
<100 nT ناهمگام
<300 nT همگام
عرض درب: 87.5 سانتی متر
وزن: ستون کنسول 450 کیلوگرم
نیتروژن خشک توصیه شده: سیستم (0.7 تا 0.8 بار، حداکثر 10 لیتر بر دقیقه در حین خروج)
آکوستیک: < 68dBC
ارتعاشات طبقه
جداول لرزش در دسترس بعنوان آپشن
|
|
حفاظت انرژی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
مانیتورهای سازگار با انرژی Star و سیستم های PC
سیستم طراحی شده برای کار بدون چیلر آب و یا هوای فشرده
|