|
مشخصه
|
توضیحات
|
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Average resolution of all beams @ 1.0 kV, 1.5 kV, 3.0 kV ≤ 3.5 nm
|
|
یکنواختی رزولوشن میکروسکوپ الکترونی SEM
|
@ 1.0 kV, 1.5 kV, 3.0 kV and 12 µm pitch size ≤ ± 0.5 nm
|
|
انرژی فرود میکروسکوپ SEM
|
1.0 − 3.0 kV
|
|
چیدمان پرتو میکرسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Beam pattern Hexagonal
Number of beams 61
Pitch size (width of single beam image) 12 µm or 15 µm (optional)
Pitch uniformity ≤ ±1 %
|
|
میدان دید میکرسکوپ الکترونی SEM
|
Long axis of hexagon (12 µm pitch / 15 µm pitch) 108 µm / 135 µm
|
|
جریان پرتو میکرسکوپ SEM
|
Single beam ≥ 570 Pa
Total current ≥ 35 nA
Uniformity ≤ ±10 %
|
|
منبع الکترون میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Filament Schottky emitter
Filament current stability ≤ 1 % per hour
|
|
بلانکر پرتو میکروسکپ الکترونی SEM
|
Electrostatic beam blanker
|
|
فاصله کاری میکروسکپ SEM
|
1.4 mm
|
|
تشخیص میکرسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Secondary electron projection optics with high-efficiency multi detection unit
|
|
نرخ اسکن میکرسکپ الکترونی SEM
|
Max. 20 MHz per beam, different discrete scan speeds are available
|
|
مود اسکن میکرسکپ SEM
|
Step and scan
|
|
سایز پیکسل میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Range for complete stitching (at 12 µm pitch)
|
|
چیدمان اسکن میکروسکوپ الکترونی SEM
|
Image tile consists of 61 Sub-Images arranged in a hexagonal pattern
Adjustable overlap of adjacent scan fields
|
|
استیج میکروسکوپ SEM
|
Type: Stepper Stage
Usable travel range x/y/z: 100 / 100 / 30 mm
Repeatability XY ≤± 3 µm
Settling time ≤ 1.5 s
|
|
نمونه میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Maximum size in XY 100 × 100 mm²
Maximum height ≤ 30 mm
Maximum flatness ≤ 500 nm / 100 µm (Peak-to-Peak)
Maximum weight ≤ 0.2 kg
|
|
زمان تعویض نمونه میکروسکپ الکترونی SEM
|
with airlock ≤ 5 min
|
|
رابط کاربری میکروسکپ SEM
|
ZEN for MultiSEM
|
|
رابط (API)میکرسکپ الکترونی روبشی SEM
|
provided for custom workflow development
|
|
عملکرد Shuttle & Findمیکرسکپ الکترونی SEM
|
Reliable transfer of sample coordinates from different imaging modalities (e.g., light microscope or single-beam SEM)
|
|
بررسی عملکرد میکرسکپ SEM
|
Check of all relevant system parameters such as vacuum pressures or optics alignment quality
|
|
نرم افزار موازی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Distributed image acquisition
|
|
پشتیبانی از پایگاه داده میکروسکوپ الکترونی SEM
|
provided for workflow and data management
|
|
عملکرد تراز اتوماتیک میکروسکوپ SEM
|
autofocus, auto-stigmation, detector equalization, etc.
|
|
گردش کار دست یابی به تصاویر میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Graphical Experiment Setup Image based region of interest selection Automated Section Detection (Option) Fast workflow setup for serial sections imaging Interaction Requirement Max. 1 hr/24 hrs dedicated user interaction for beam alignment & calibration
|
|
کنترل کننده اصلی میکروسکپ الکترونی SEM
|
≥ 4 core CPU (64 Bit), ≥ 32 GB DDR, ≥ 1 TB HD, min. 2 ports with 1 Gbit Ethernet
|
|
سیستم عامل کنترل کننده اصلی میکروسکپ SEM
|
Windows® 7 (64 Bit)
|
|
نمایشگر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
2 Monitors, 1920 × 1080 Pixel, 24"
|
|
دست یابی به تصویر میکروسکوپ الکترونی SEM
|
8 PCs, in 19" Rack
|
|
کامپیوتر دست یابی به تصاویر میکروسکوپ SEM
|
≥ 4 core CPU (64 Bit), ≥ 32 GB DDR3, 1 Gbit ethernet, 10 Gbit ethernet to customer network
|
|
سرعت انتقال داده به شبکه مشتری میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
≥ 10 Gbit ethernet
|
|
پمپ محفظه خلاء میکروسکپ الکترونی SEM
|
Turbo molecular pump (≥ 280 l/s); oil-free Scroll Pump
|
|
فشار عملیاتی محفظه میکروسکپ SEM
|
≤ 1 × 10-5 mbar
|
|
بررسی میکرسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Automatic monitoring of all relevant pressures
|