مشخصه
|
توضیحات
|
حالت خلاء زیاد میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
3.0 nm (30 kV), 15.0 nm (1.0 kV)
|
حالت خلاء کم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
4.0 nm (30 kV, BED)
|
بزرگ نمایی مستقیم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
×5 to ×300,000(Deined with a display size of 128 mm × 96 mm)
|
بزرگ نمایی نمایش داده شده میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
×14 to ×839,724 (on the monitor) (Deined with a display size of 358 mm× 269 mm)
|
بمباران الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
W filament, Fully automatic gun alignment
|
شتاب ولتاژ میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
0.3 kV to 30 kV
|
جریان پروب میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
1 pA to 1 μA
|
تنظیمات فشار LV میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
10 to 650 Pa
|
دهانه لنز شی ایی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
3-stage, with XY ine adjustment function
|
عملکرد اتوماتیک میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
filament adjustment, Gun alignment, Focus /Stigmator /Brightness /Contrast
|
حداکثر سایز نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
200 mm dia. × 75 mm height*3 200 mm dia. × 80 mm height*3 32 mm dia. × 90 mm height*3
|
محفظه نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Large eucentric stage X : 125 mm, Y : 100 mm, Z : 80 mm Tilt : –10 to 90°, Rotation : 360°
|
عملکرد مونتاژ میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Built-in as standard
|
صفحه نمایش هماهنگی موقعیت اندازه گیری میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
200 mm dia.
|
دستورالعمل های استاندارد میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Built-in (includes EDS condition*2)
|
حالت عکس میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Secondary electron image, REF image, Composition image*1, Topographic image*1, Stereo-microscopic image*1, etc.
|
پیکسل تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920, 5,120 × 3,840
|
سیستم عامل میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Microsoft® Windows® 10 64bit
|
مانیتور قابل مشاهده میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
23-inch touch panel
|
عملکرد EDS میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Refer to EDS speciications (p26)
|
عملکرد اندازه گیری میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Built-in (distance between 2 points, distance between parallel lines, angle, diameter, etc.)
|
مدیریت عملکرد داده ها میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
" SMILE VIEW ™ Lab "
|
عملکرد تولید گزارش داده ها میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
" SMILE VIEW ™ Lab "
|
تغییر زبان میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Operable on UI (Japanese/English)
|
سیستم خلا میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Fully automatic, TMP : 1 RP : 1 or 2*1
|
میزان برق مصرفی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Single-phase 100 V AC, 50/60 Hz, 3.0 K Va
Voltage regulation Within ±10% (voltage drop from 3.0 kVA by 3% or less)
Grounding terminal 100 Ω or less
|
راه اندازی اتاق میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
دمای اتاق
|
20 ± 5 ℃
|
رطوبت اتاق
|
60% or less
|
وزن
|
2,000 m or less
|
مزاحمت
AC field
|
0.3 μT or less
(50/60 Hz, Sine wave, WD 15 mm, 30 kV)
|
ابعاد محظه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
2,000 mm (W) × 2,500 mm (D) × 1,800 mm (H) or more Door width 850 mm or more
|