مشخصات کلی

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

مدل : Apreo
سازنده : Thermo Scientific

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo یک میکروسکوپ الکترونی همه کاره با عملکرد بالا می باشد. میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo ساخت Thermo Scientific برای محققانی که خواص مواد را بررسی می کنند، در کوتاه ترین زمان ممکن با ارائه کیفیت عالی تصویر در طیف وسیعی از نمونه ها و شرایط پاسخگو می باشد. به محض روشن شدن میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo، توپوگرافی و کنتراست ترکیبی از طریق تشخیص همزمان در ستون در دسترس هستند: با حداقل تلاش، با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo اطلاعات مربوط به نمونه به راحتی برای اکتشاف نمونه قابل دست یابی می باشد. با افزایش بزرگنمایی، میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo عملکرد بسیار عالی با وضوح بالارا نمایش می دهد، حتی اگر فاصله کاری هنوز هم زیاد باشد (به عنوان مثال: WD تحلیلی 10 میلیمتر) و تنها عملکردهای کاربر شامل بزرگنمایی می شود. برای عملکرد نهایی، رابط کاربری میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo هدایت اپراتور را به شرایط مطلوب که در آن ویژگی های نانومتری حتی در موادی که عایق ، مغناطیسی و یا به پرتو حساس هستند امکان پذیر می سازد . این به این معنی است که میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo یک زمان کوتاه را برای نتیجه گیری ارائه می دهد.

معرفی محصول

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo پلتفرم انتخابی برای تحقیق بر روی نانوذرات، کاتالیزورها، پودرها و نانوساختارها است که به لطف طرح لنز نهایی نوآورانه آن است که بر عملکرد تصویربرداری نمونه مغناطیسی تأثیری ندارد. لنز نهایی الکترواستاتیک (هر دو Apreo C و Apreo S) امکان تشخیص همزمان در ستون را با رزولوشن بالا فراهم می کند، در حالی که میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo S ترکیبی از لنز نهایی الکترواستاتیک با غوطه وری مغناطیسی با یک لنز می باشد. لنز نهایی کامپکت میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo باعث افزایش کارایی رزولوشن می شود و رزولوشن 1.0 نانومتر را در 1 کیلو ولت بدون افزایش سرعت پرتوهای اضافی فراهم می کند و گزینه های منحصر به فرد برای فیلتر کردن سیگنال را ارائه می دهد.

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo یک زمان کوتاه برای جمع آوری داده ها را با استفاده از آشکارساز Backside T1 در لنز تضمین می کند که برای جمع آوری حداکثر میزان سیگنال نزدیک به نمونه قرار می گیرد. بر خلاف دیگر آشکارسازهای برگشت پذیر، این آشکارساز سریع باعث می شود که کنتراست مواد در همه زمان ها حتی در هنگام حرکت در دسترس باشد. در نمونه های حساس، آشکارساز میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo تصاویری با نور کم را در جریان های چندین pA ، فراهم می کند. لنز نهایی کامپکت در میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo S امکانات بیشتری از BSE T1 را حتی با فیلتر کردن انرژی گسترش می دهد که امکان کنتراست دقیق تر مواد و همچنین تصویر برداری بدون شارژ نمونه های عایق را فراهم می کند. تشخیص توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo با گزینه های رایج مانند آشکارساز backscatter جهت (DBS)، STEM 3+ و DATASHEET LoVac GAS (GAD) تکمیل می شود. همه این آشکارسازها دارای تقسیم بندی منحصر به فرد نرم افزار کنترل شده برای انتخاب اطلاعات ارزشمند نمونه می باشند.

هر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo استاندارد با طیف گسترده ای از استراتژی هایی برای مقابله با نمونه های عایق، از جمله: تکنیک های خلاء بالا مانند SmartSCAN ، ادغام فریم جبران شده (drift (DCFI و فیلترینگ شارژ می باشد.

با استفاده از تکنیک های تحلیلی که به طور معمول استفاده می شود، چمبر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo به طور کامل بگونه ای طراحی شده است تا از لوازم جانبی مختلف و آزمایشات بهتری پشتیبانی کند. محفظه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo شامل سه پورت EDS / WDS برای سنجش اشعه ایکس سریع و حساس، تنظیم EDS / EBSD / TKD و همچنین سازگار با CL ، Raman ، EBIC و سایر تکنیک ها می باشد.

تمام این قابلیت ها با دستکاری آسان نمونه و رابط کاربری XT ، صرفه جویی در وقت برای کاربران تازه کار و متخصص را به طور یکسان تکمیل می شود. یک رابط کاربری قابل تنظیم، گزینه های زیادی برای راهنمایی کاربر، اتوماسیون و عملیات از راه دور فراهم می کند.

با تمام این مزایا، از جمله لنز نهایی ترکیب، تشخیص پیشرفته و نمونه گیری قابل انعطاف نمونه، عملکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo و قابلیت انعطاف پذیری می تواند چالش های تحقیق را برای بسیاری از سال ها برآورده سازد.

ویژگی ها

ویژگی های کلیدی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo

عملکرد نهایی نانومتر یا زیر نانومتر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo در تمام نقاط بر روی مواد از نانوذرات، پودر، کاتالیزور تا نمونه های مغناطیسی انبوه.
مفیدترین تشخیص backscatter تضمین می کند که کنتراست مواد حتی در ولتاژ پایین و جریان پرتو در هر زاویه شیب، در نمونه های حساس پرتو همیشه در دسترس است.
انعطاف پذیری بی نظیر آشکارساز میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo به کاربران امکان می دهد تا میزان کنتراست و سیگنال را به وسیله اطلاعات بدست آمده از بخش های مختلف آشکارساز ترکیب کند.
یک پلت فرم برتر تجزیه و تحلیل ارائه شده توسط جریان پرتو پرتو و یک spotsize کوچک است. چمبر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo از سه آشکارساز EDS، EDS همپوشانی و EBSD پشتیبانی می کند و دارای خلاء کم بهینه سازی شده برای تجزیه و تحلیل می باشد.

میکروسکوپ SEM

مشخصات فنی

مشخصات فنی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo

مشخصات	توضیحات
اپتیک های الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo	High-resolution field emission SEM column with: – High-stability Schottky field emission gun to provide stable high-resolution analytical currents – Compound final lens: a combined electrostatic, field-free magnetic and immersion magnetic objective lens* – 60° objective lens geometry: allows tilting larger samples Automated heated apertures to ensure cleanliness and touch free aperture changes Through-the-lens differential pumping for low vacuum* reduces beam skirting for the most accurate analysis and highest resolution Beam deceleration with stage bias from -4000 V to +600 V Continuous beam current control and optimized aperture angle Double stage scanning deflection Easy gun installation and maintenance – auto bake-out, auto start, no mechanical alignments Guaranteed minimal source lifetime: 12 months
پارامتر فاصله پرتو الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo	Beam current range: 1 pA to 400 nA Accelerating voltage range: 200 V – 30 kV Landing energy range: 20 eV – 30 keV Max. Horizontal Field Width: 3.0 mm at 10 mm WD (corresponds to 29x minimum magnification).
چمبر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo	Inside width: 340 mm Analytical working distance: 10 mm Ports: 12 EDS take-off angle: 35° Three simultaneous EDS detectors possible, two at 180° Coplanar EDS/EBSD orthogonal to the tilt axis of the stage
آشکارسازهای میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo	Trinity Detection System (in-lens and in-column) – T1 segmented lower in-lens detector – T2 upper in-lens detector – T3 in-column detector* ETD – Everhart-Thornley SE detector DBS – Retractable segmented under-the-lens BSED* Low-vacuum SE detector* DBS-GAD – Lens-mounted gaseous analytical BSED* STEM 3+ – Retractable segmented detector (BF, DF, HADF, HAADF) * IR-CCD Nav-Cam+™ chamber-mounted camera
سیستم خلاء میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo	Complete oil-free vacuum system 1 × 220 l/s TMP 1 × PVP-scroll 2 × IGP Chamber vacuum (high vacuum) < 6.3 × 10-6 mbar (after 72 hours pumping) Evacuation time: ≤ 3.5 minute Optional low-vacuum mode 10 to 500 Pa chamber pressure
نگهدارنده نمونه میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo	Standard multi-purpose holder, uniquely mounts directly onto the stage, hosts up to 18 standard stubs (Ø12 mm), three pre-tilted stubs, cross-section samples and two pre-tilted row-bar holders* (38° and 90°) and does not require tools to mount a sample Each optional row-bar accommodates 6 S/TEM grids Wafer and custom holders*
کنترل سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo	64-bit GUI with Windows 7, keyboard, optical mouse 24-inch LCD display, WUXGA 1920 × 1200 (second monitor optional) Customizable graphical user interface, with up to 4 simultaneously active views Image registration Navigation montage Image analysis software Undo / Redo functionality User guidance for basic operations / applications Optional joystick Optional manual user interface (knob board)
پردازنده تصویر میکروسکوپ الکترونی SEM مدل Apreo	Sample / chamber cleaning: FEI Cryo Cleaner, FEI Integrated Plasma Cleaner Analysis: EDS, EBSD, WDS, CL, Raman QuickLoader™: load lock for fast sample transfer Navigation: Correlative Navigation, MAPS Tiling and Stitching FEI Gas injection: up to 2 units (other accessories may limit number of GIS available) for beam-induced deposition of the following materials: – Platinum – Tungsten – Carbon Manipulators Cryo-stage Electrical probing / multi-probing stations Electrostatic beam blanker
الزامات نصب میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Apreo	Power: – Voltage 100 – 240 V AC (-6%, +10%) – Frequency 50 or 60 Hz (±1%) – Consumption: < 3.0 kVA for basic microscope Earth resistance < 0.1 Ω Environment: – Temperature (20 ± 3) °C – Relative humidity below 80% – Stray AC magnetic fields < 40 nT asynchronous, < 100 nT synchronous for line times, 20 ms (50 Hz mains) or 17 ms (60 Hz mains) Minimum door size: 0.9 m wide × 1.9 m high Weight: column console 980 kg Dry nitrogen recommended for venting Compressed air 4 – 6 bar, clean, dry and oil-free System chiller Acoustics: site survey required, as acoustic spectrum relevant Floor vibrations: site survey required, as floor spectrum relevant