| محدوده جریان محصولات مس فلوکنترلر - مس فلومتر (F.S.) (در شرایط کالیبراسیون N2) | 50 SCCM–5 SLM Over 5 SLM–20 SLM | 
| گازهای مناسب (گاز خشک) قابل استفاده در مس فلومتر - مس فلوکنترلر | N2, air, O2, CO2, Ar, H2, He, etc. | 
| نوع سنسور فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | سنسور دمایی | 
| محرک ولو فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | دریچه الکترومغناطیسی متناوب بسته شده  | 
| نوع ولو مس فلومتر - مس فلوکنترلر | Poppet valve  | 
| سیستم کنترل فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی |  محدوده کنترل / انداره گیری فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | 2–100% F.S | 
| زمان پاسخ دهی مس فلومتر - مس فلوکنترلر | 0–100% F.S. or more within 2 sec. 0–below 10% F.S. within 4 sec.
 | 
| دقت دستگاه مس فلومتر - مس فلوکنترلر | دقت نرخ جریان سیال | ±1.0%F.S.  | ±1.5%F.S.  | 
| خاصیت تکرار پذیری مس فلومتر - مس فلوکنترلر | ±0.75%F.S. | 
| فشار فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | proof pressure | 1000 kPa (G) | 
| فشار عملیاتی مجاز فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | 500 kPa (G) or less | 
| فشار دیفرانسیلی عملیاتی مس فلومتر - مس فلوکنترلر | 50–300 kPa (G) | 100–300 kPa (G) | 
| دما مس فلومتر - مس فلوکنترلر | دمای عملیاتی مجاز | 5–45℃ | 
| مشخصات دما فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | 0.2% F.S./℃ | 
| میزان رطوبت فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | رطوبت عملیاتی مجاز مس فلومتر - مس فلوکنترلر | 10–90% (No condensation allowed) | 
| میزان نشت فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | سرعت میزان نشت | 1 × 10-8 Pa·m3/sec. or less *3 | 
| روش تنظیم جریان | دیجیتال فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی   | (1) Setting & display unit | 
| (2) Communications | 
| (3) Event input selection | 
| آنالوگ  *7 | (1) 0–5 V (2) 4–20 mA (freely selectable) | 
| نرخ سرعت جریان خروجی | آنالوگ | (1) 0–5 V (2) 4–20 mA (interlocked with the above) | 
| صفحه نمایشگر مس فلومتر - مس فلوکنترلر | فرمت نمایشگر فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | 7-segment 4-digit LED | 
| جریان کل مس فلومتر - مس فلوکنترلر | 12 دیجیتال  | 
| جهت نصب | قابل تغییر
   | 
| ساخته شده در / به صورت جداگانه  | ساخته شده در 1 متری جداگانه، 3 متر جداگانه، 5 متر جداگانه | 
| موقعیت صفحه نمایش LED مس فلومتر - مس فلوکنترلر | OK (در محدوده مجاز)، ALM (خروجی زنگ خروجی) OUT1 (خروجی رویداد 1 متصل)، OUT2 (رویداد خروجی 2 متصل) SV (جریان مجموعه)، PV (جریان لحظه ای)، TF (جریان کل) IF (تنظیم حالت) | 
| دیگر عملکردهای  I / O مس فلومتر - مس فلوکنترلر   | رویداد ورودی | 3 × contact input | 
| زنگ هشدار خروجی مس فلومتر - مس فلوکنترلر   | 1 × open collector output, Max. 35 V, 50 mA | 
| رویداد خروجی فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | 2 × open collector output Max. 35 V, 50 mA | 
| اتصالات | 2 × open collector output Max. 35 V, 50 mA | 
| منبع برق فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی | سرعت برق  | 24 VDC, current consumption: 300 mA max. | 
| دامنه ولتاژ مجاز قابل قبول | 21.6–26.4 VDC (Ripple: 5% or less) | 
| موقعیت نصب مس فلومتر - مس فلوکنترلر | Not specified | 
| برنامه های استاندارد | RoHS and EN62326-1: 2006
   | 
|  مواد تماس با گازها مس فلومتر - مس فلوکنترلر | SUS316, SUS316L, SUS430, FKM, PTFE, chloroprenerubber (option)
 | 
| خط اتصالات ( مفاصل ) فلوکنترلر جرمی - فلومتر جرمی  | 1/4 SWL, RC1/4, 1/4 VCR | 
| وزن دستگاه مس فلومتر /مسفلو کنترلر  | Built-in: Approx. 1000 g Separate (excluding the cable): Approx. 1200 g (*6) |