|
مشخصه
|
توضیح
|
|
محدوده سرعت
（N2 equivalent 20℃/1ATM）
|
30SLM〜100SLM
（freely selectable）
|
|
نوع سنسور فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
Thermal sensor
|
|
نوع ولو مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
Normally closed proportional solenoid valve
|
|
محدوده کنترل فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
5〜100％（F.S.）
|
|
مدت زمان پاسخ دهی مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
≤3sec
(within±2%F.S.)
|
|
دقت دستگاه فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
±1.5%F.S.（25℃）
|
|
ضریب دمایی فلومتر-فلوکنترلر
|
±0.2F.S./℃（15〜35℃）
|
|
خاصیت تکرار پذیری فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
±0.5%F.S.
|
|
اختلاف فشار دیفرانسیلی مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
F.S.≤50SLM 150〜300kPa（G）
|
|
F.S.＞50SLM 200〜300kPa（G）
|
|
(Option：Medium differential pressure（MP）, low differential pressure (LP
specifications are available
|
|
فشار عملیاتی مجاز فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
500kPa（G） or less
|
|
Pressure Proof
|
980kPa（G）
|
|
میزان سرعت نشت مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
≤1×10−8Pa・㎥/s（excluding permeation of He）
|
|
دمای محیطی عملیاتی مجاز
|
℃45〜℃5
|
|
رطوبت مجاز محیط
|
10〜90％RH（No condensation allowed）
|
|
جنس قطعات فلومتر –فلوکنترلر جرمی در تماس با گاز
|
Body : SUS316
|
|
Valve seat : FKM（option : CR or NBR）
|
|
(Sealing : FKM（option : CR or NBR
|
|
اتصالات برق
|
(Dsub half pitch 20pin DX10M−20S (HRS
|
|
سیگنال ورودی جریان فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
(0〜5VDC（input impedance 100kΩ or more
or 4〜20mA selectable
|
|
سیگنال خروجی جریان مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
0〜5VDC（external load resistance 250kΩ or more） or
4〜20mA（external load resistance 300Ω or less）selectable
|
|
اتصالات مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
RS232C（3 wire）or RS485（3 wire）selectable
|
|
سایر عملکردهای دستگاه فلوکنترلر – فلومتر
|
Instantaneous flow rate・
integrated flow rate display （ 7-segment 4-digit LED
display accuracy ±1% integrated display 0000〜9999MAX）,
Alarm output （NPN open collector output 2 points
Max DC35V 50mA）, pattern setting（5 pattern） function
|
|
برق مصرفی فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
24VDC±10%（ripple 5%） current consumption 300mA max
|
|
خطوط اتصال
|
Standard 3/8F900（9/16−18UNF）
Option 1/2F900, 3/8UJR,
Rc3/8 etc.
|
|
وزن مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
Approx. 1500g
|