|
مشخصه
|
توضیح |
|
محدوده سرعت（N2 equivalent 20℃/1ATM）
|
10SCCM〜20SLM
（freely selectable）
|
|
نوع سنسور فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
Thermal sensor
|
|
نوع ولو مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
Normally closed proportional solenoid valve
|
|
محدوده کنترل فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
2〜100％（F.S.）
|
|
مدت زمان پاسخ دهی مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
≤2sec
(within±2%F.S)
|
|
دقت دستگاه فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
±1.0%F.S.（25℃）
|
|
ضریب دمایی فلومتر-فلوکنترلر
|
±0.1F.S./℃（15〜35℃）
|
|
خاصیت تکرار پذیری
|
±0.5%F.S.
|
|
اختلاف فشار دیفرانسیلی فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
F.S.≤5SLM 50〜300kPa（G）
|
|
F.S.＞5SLM 100〜300kPa（G）
|
|
Option：Medium differential pressure（MP）, low differential pressure（LP）
specifications are available
|
|
فشار عملیاتی مجاز مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
500kPa（G） or less
|
|
Pressure Proof
|
980kPa（G）
|
|
میزان سرعت نشت فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
≤1×10−8Pa・㎥/s（excluding permeation of He）
|
|
دمای محیطی عملیاتی مجاز
|
℃45〜℃5
|
|
رطوبت مجاز محیط
|
10〜90％RH（No condensation allowed）
|
|
جنس قطعات فلومتر –فلوکنترلر جرمی در تماس با گاز
|
Body : SUS316
|
|
Valve seat : FKM（option : CR or NBR）
|
|
Sealing : FKM（option : CR or NBR）
|
|
اتصالات برق
|
Dsub half pitch 20pin DX10M−20S(HRS)
|
|
سیگنال ورودی جریان فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
0〜5VDC（input impedance 100kΩ or more)
or 4〜20mA selectable
|
|
سیگنال خروجی جریان مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
0〜5VDC（external load resistance 250kΩ or more） or
4〜20mA（external load resistance 300Ω or less）selectable
|
|
اتصالات فلومتر جرمی –فلوکنترلر جرمی
|
RS232C（3 wire）or RS485（3 wire） selectable
|
|
سایر عملکردهای دستگاه فلوکنترلر – فلومتر
|
Instantaneous flow rate
integrated flow rate display （ 7-segment 4-digit LED
display accuracy ±1% integrated display 0000〜9999MAX）,
Alarm output （NPN open collector output 2 points
Max DC35V 50mA）, pattern setting（5 pattern） function
|
|
برق مصرفی
|
24VDC±10%（ripple 5%） current consumption 300mA max
|
|
خطوط اتصال مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
Standard 1/4F900（9/16-18UNF）
Option 1/8F900, 1/4UJR,
Rc1/4 etc.
|
|
وزن مس فلومتر - مس فلوکنترلر
|
Approx. 1200g
|