|
محدوده نرخ جریان در فلوکنترلر جرمی (N2 equivalent,
20℃/1 atm)
|
1 SCCM–20 SLM (The conditions are freely selectable)
|
|
نوع سنسور مس فلوکنترلر
|
Thermal mass flow sensor
|
|
نوع ولو فلوکنترلر جرمی
|
(Proportional solenoid valve (closed when not energized
|
|
محدوده کنترل مس فلوکنترلر
|
2–100% (F.S.)
|
|
زمان پاسخ دهی فلوکنترلر جرمی
|
1 sec. or less (0–100% within ±2% typical)
|
|
دقت دستگاه مس فلوکنترلر
|
1% F.S. (Accuracy guaranteed at 15–35℃)
|
|
خاصیت تکرار پذیری فلوکنترلر جرمی
|
±0.2%F.S.
|
|
اختلاف فشار دیفرانسیلی مس فلوکنترلر
|
F.S. ≤ 5 SLM: 50–300 kPa
|
|
F.S. > 5 SLM: 100–300 kPa
|
|
Option: Low differential pressure (LP) specification is available depending on conditions.
|
|
میزان فشار عملیاتی مجاز فلوکنترلر جرمی
|
300 kPa (G) or less
|
|
Pressure Proof
|
980 kPa (G)
|
|
سرعت نشت فلوکنترلر جرمی
|
1 × 10-11 Pa·m3/s or less
|
|
میزان دمای محیطی عملیاتی مجاز مس فلوکنترلر
|
℃50–℃0
|
|
میزان رطوبت مجاز محیطی فلوکنترلر جرمی
|
10–90% (No condensation allowed)
|
|
جنس قطعات در تماس با گازها مس فلوکنترلر
|
Body: SUS316L
|
|
Diaphragm:SUS316L
|
|
Valve seat: PTFE
|
|
Sealing: SUS316L, Ni, Au
|
|
Option: SUS seal (SU), inner surface polish (KP)
|
|
Body: SUS316L
|
|
اتصالات برقی فلوکنترلر جرمی
|
Dsub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard)
|
|
سیگنال ورودی جریان مس فلوکنترلر
|
(0–5 VDC (Input impedance: 1 MΩ or more
|
|
سیگنال خروجی جریان فلوکنترلر جرمی
|
(0–5 VDC (External load resistance: 250 kΩ or more
|
|
برق مصرفی مورد نیاز مس فلوکنترلر
|
+15 VDC (±5%) 100 mA, −15 VDC (±5%) 200 mA
|
|
اتصالات فلوکنترلر جرمی
|
Standard: 1/4 VCR equivalent Option: 1/4 SWL
|
|
وزن مس فلوکنترلر
|
Approx. 1000 g
|