|
مشخصه
|
توضیح
|
|
پایین ترین محدوده فلوکنترلر (N2 equivalent, 20℃/1 atm)
|
30 SCCM–100 SLM (freely selectable)
|
|
نوع سنسور فلوکنرلر جرمی
|
سنسور دمایی
|
|
نوع شیر ( ولو ) مس فلوکنترلر
|
دریچه الکترومغناطیسی متناوب بسته شده (زمانی که انرژی نگیرد بسته می شود)
|
|
محدوده کنترل مس فلوکنترلر
|
5–100% (F.S.)
|
|
زمان پاسخ دهی فلوکنترلر جرمی
|
3sec. or less (0–100% within
±2% typical)
|
|
میزان دقت مس فلوکنترلر
|
±1.5% F.S. (25℃)
|
|
ضریب دمایی فلوکنترلر جرمی
|
±0.2 F.S./℃ (15–35℃)
|
|
خاصیت تکرار پذیری
|
±0.5%F.S.
|
|
اختلاف فشار دیفرانسیلی مس فلوکنترلر
|
F.S. ≤ 50 SLM: 150–300 kPa (G)
|
|
F.S. > 50 SLM: 50–300 kPa (G)
|
|
Option: Medium differential pressure (MP) and low differential
pressure (LP) specifications are available.
|
|
فشار عملیاتی مجاز فلوکنترلر جرمی
|
500 kPa (G) or less
|
|
Pressure Proof
|
980 kPa (G)
|
|
سرعت میزان نشت فلوکنترلر جرمی
|
1 × 10-8 Pa・m3/s or less (excluding permeation of He)
|
|
دمای محیطی مجاز
|
5–45°C
|
|
رطوبت محیطی مجاز فلوکنترلر جرمی
|
10–90% (No condensation allowed)
|
|
جنس قطعات در تماس با گازها
|
Body: SUS316
|
|
Valve seat: FKM (option: CR or NBR)
|
|
Sealing: FKM (option: CR or NBR)
|
|
اتصالات برقی
|
Dsub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard
|
|
سیگنال ورودی نرخ جریان فلوکنترلر جرمی
|
0–5 VDC (Input impedance: 1 MΩ or more)
|
|
سیگنال خروجی نرخ جریان مس فلوکنترلر
|
0–5 VDC (External load resistance: 250 kΩ or more)
|
|
برق مصرفی مورد نیاز
|
+15 VDC (±5%) 100 mA, −15 VDC (±5%) 250 mA
|
|
مفاصل ارتباطی
|
Standard: 3/8SWL
Option: 1/2SWL 3/8VCR RC3/8, etc
|
|
وزن
|
Approx. 1500 g
|