|
محدوده جریان سیال مس فلوکنترلر گازی دیجیتال (N2 equivalent, 20℃/1 atm)
|
1 SCCM–20 SLM (The conditions are freely selectable)
|
|
نوع سنسور فلوکنترلر جرمی
|
Thermal mass flow sensor
|
|
نوع شیر مس فلوکنترلر گازی
|
Proportional solenoid valve (closed when not energized)
|
|
محدوده کنترل فلوکنترلر جرمی
|
2–100% (F.S.)
|
|
زمان پاسخ دهی واکنش مس فلوکنترلر گازی
|
1 sec. or less (0–100% within ±2% typical)
|
|
دقت دستگاه مس فلوکنترلر گازی
|
±1% F.S. (Accuracy guaranteed at 15–35℃)
|
|
خاصیت تکرار پدیری فلوکنترلر جرمی
|
±0.2%F.S.
|
|
اختلاف فشار دیفرانسیلی مس فلوکنترلر گازی
|
F.S. ≤ 5 SLM: 50–300 kPa (G)
|
|
F.S.> 5 SLM: 100–300 kPa (G)
|
|
Option: Low differential pressure (LP) specification is available depending on conditions.
|
|
فشار عملیاتی مجاز محصولات فلوکنترلر جرمی
|
300 kPa (G) or less
|
|
Proof Pressure
|
980 kPa (G)
|
|
سرعت نشت فلوکنترلر جرمی
|
1 × 10-8 Pa·m3/s or less (excluding permeation of He)
|
|
دمای مجاز محیط
|
0–50℃
|
|
میزان رطوبت مجاز محیطی
|
10–90% (No condensation allowed)
|
|
مواد در تماس با گازها مس فلوکنترلر گازی
|
Body: SUS316L
|
|
Diaphragm: SUS316
|
|
Valve seat: FKM (option: CR, NBR or perfluor)
|
|
Sealing: FKM (option: CR, NBR or perfluor)
|
|
اتصالات برقی
|
Dsub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard)
|
|
سیگنال تنظیم سرعت جریان
|
0–5 VDC (Input impedance: 1 MΩ or more)
|
|
سیگنال خروجی جریان
|
0–5 VDC (External load resistance: 250 kΩ or more)
|
|
منبع برق مورد نیاز
|
+15 VDC (±5%) 100 mA, −15 VDC (±5%) 200 mA
|
|
مفاصل قابل اتصال
|
Standard: 1/4SWL Option: 1/8SWL 1/4VCR RC1/4, etc.
|
|
وزن محصولات مس فلوکنترلر گازی
|
Approx. 1000 g
|