صفحه اصلی
محصولات
آنالیز دستگاهی
میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
سیستم EDS برای SEM

سیستم EDS برای SEM

مشخصات کلی معرفی محصول ویژگی ها کاربردها مشخصات فنی لوازم جانبی دانلودها

مشخصات کلی

QUANTAX EDS FOR SEM – XFlash® 7 EDS SYSTEM

  • مدل: QUANTAX EDS for SEM
  • نام شرکت: Bruker
  • کشور سازنده: آلمان

سیستم EDS QUANTAX EDS for SEM با آشکارسازهای XFlash® 7

مشخصات کلی سیستم QUANTAX EDS for SEM

QUANTAX EDS for SEM نسل جدید سیستم‌های Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS) شرکت Bruker برای SEM، FIB-SEM و EPMA است. این سیستم بر پایه خانواده آشکارسازهای XFlash® 7 ساخته شده که بزرگ‌ترین زاویه جامد (> 1.1 sr) برای جمع‌آوری پرتو X، توان آنالیتیکی واقعی تا 1,000,000 cps و پایگاه داده‌ای با بیش از 2,200 خط عنصری (K, L, M, N) ارائه می‌دهد.

با هندسه‌ی بهینه، تکنولوژی slim-line و فاصله نمونه–آشکارساز کوتاه، QUANTAX EDS بیشترین سیگنال را حتی در ولتاژهای کم و جریان‌های پایین جمع‌آوری می‌کند؛ این یعنی نقشه‌برداری عنصری سریع، حساسیت بالا و حد تشخیص بهتر برای عناصر سبک. دقت طیفی بالا، تفکیک انرژی عالی و الگوریتم‌های کمّی‌سازی پیشرفته، امکان Quantification مطمئن حتی روی نمونه‌های پیچیده و توپوگرافی‌دار را فراهم می‌کند.

نرم‌افزار ESPRIT، قلب نرم‌افزاری سیستم QUANTAX EDS، با ابزارهایی مانند ESPRIT Spectrum، Quant Tools، HyperMap، TQuant و Hybrid Quantification، هم تحلیل بدون استاندارد (standardless) و هم تحلیل مبتنی بر استاندارد را پشتیبانی می‌کند و امکان ترکیب این دو روش برای حداکثر دقت (Hybrid Quant) را فراهم می‌سازد. به‌ویژه ماژول TQuant برای کمّی‌سازی عناصر سبک در ولتاژهای پایین (< 5 kV) طراحی شده است.

QUANTAX EDS for SEM به‌صورت کامل با روش‌های دیگر Bruker روی میکروسکوپ یکپارچه می‌شود: EDS، WDS، EBSD و Micro-XRF روی SEM همگی تحت یک محیط نرم‌افزاری ESPRIT قابل کنترل هستند. این یکپارچگی به کاربر اجازه می‌دهد که در یک نمونه، هم‌زمان اطلاعات ترکیب عنصری، ساختار کریستالی، نقشه‌های ۲بعدی و حتی ۳بعدی را به‌دست آورد.

معرفی محصول

معرفی سیستم QUANTAX EDS for SEM

معرفی محصول

QUANTAX EDS for SEM یک سیستم کامل EDS/EDX برای میکروسکوپ الکترونی روبشی است که شامل آشکارسازهای XFlash® 7 و نرم‌افزار ESPRIT می‌شود. XFlash 7 جدیدترین نسل آشکارسازهای Silicon Drift Detector (SDD) Bruker است که با طراحی slim-line، زاویه جامد > 1.1 sr و توان واقعی تا 1,000,000 cps، بالاترین سرعت و کارایی در آنالیز عنصری روی SEM، FIB-SEM و EPMA را فراهم می‌کند.

خانواده XFlash 7 در ترکیب با ESPRIT، امکان استفاده از بازه‌ی کامل خطوط K، L، M و N برای بیش از 2,200 خط عنصری را فراهم می‌کند؛ این یعنی حتی داده‌های بسیار پیچیده روی مواد چندفازی هم قابل کمّی‌سازی دقیق هستند. تنظیم هندسه و فاصله آشکارساز به‌گونه‌ای است که در کنار FlatQUAD و پیکربندی‌های چندآشکارسازه، می‌توان روی نمونه‌های حساس به پرتو، topography بالا، نمونه‌های بزرگ و thin samples به‌صورت بهینه کار کرد.

نرم‌افزار ESPRIT، TQuant و Hybrid Quantification
نرم‌افزار ESPRIT در QUANTAX EDS، از Spectra acquisition تا Mapping، HyperMap، Feature analysis، LineScan و Quantification را پوشش می‌دهد. در بخش کمّی‌سازی، هم روش‌های standardless (P/B-ZAF، Φ(ρz)-XPP) و هم روش‌های standard-based موجود هستند و از همه مهم‌تر، Hybrid Quantification که ترکیبی از هر دو روش است، دقت بیشتری در نتایج می‌دهد.

برای آنالیز عناصر سبک و کم‌انرژی در ولتاژهای بسیار پایین، ماژول TQuant در ESPRIT معرفی شده است که امکان standardless quantification در زیر 5 kV را فراهم می‌کند و در کنار رزولوشن انرژی عالی XFlash (تا ~123 eV در Mn Kα و <50 eV برای خطوط سبک) به کاهش تداخل پیک‌ها و بهبود LOD کمک می‌کند.

ویژگی ها

ویژگی‌های کلیدی سیستم QUANTAX EDS for SEM

  • آشکارسازهای XFlash® 7 – زاویه جامد > 1.1 sr:
    نسل جدید XFlash 7 در QUANTAX EDS، بزرگ‌ترین زاویه جامد برای جمع‌آوری X-ray (بیش از 1.1 sr) و بیشترین throughput را فراهم می‌کند تا بتوان نمونه‌های حساس، کم‌کنت و بزرگ را با سرعت و دقت بالا آنالیز کرد.
  • توان واقعی تا 1,000,000 cps:
    QUANTAX EDS می‌تواند تا حدود 1,000,000 cps analytical throughput ارائه کند؛ این یعنی نقشه‌برداری‌های HyperMap سریع، بدون محدودیت حجم داده و زمان‌های اندازه‌گیری کوتاه‌تر در آنالیزهای روتین و پژوهشی.
  • بازه کامل خطوط عنصری (> 2,200 Element lines):
    با پایگاه داده بیش از 2,200 خط K، L، M و N، QUANTAX EDS می‌تواند حتی ترکیب‌های بسیار پیچیده را هم به‌صورت مطمئن کمّی‌سازی کند و Peak overlapها را با الگوریتم‌های خودکار Deconvolution مدیریت کند.
  • Slim-line Design و هندسه بهینه:
    طراحی slim-line و فاصله کوتاه نمونه–آشکارساز، باعث افزایش solid angle، کاهش جذب و سایه‌انداختن و کاهش نیاز به جریان‌های بالای پروب می‌شود؛ به‌خصوص برای نمونه‌های حساس به پرتو، life science و مواد سبک بسیار مهم است.
  • High Spectral Performance – رزولوشن انرژی عالی:
    XFlash 7 در ترکیب با الکترونیک جدید، رزولوشن انرژی در حد ~123 eV در Mn Kα و عملکرد عالی در انرژی‌های پایین (مثلاً F Kα و C Kα) ارائه می‌دهد؛ مناسب برای آنالیز عناصر سبک، L-lines و low-kV EDS.
  • Hybrid Quantification و TQuant:
    نرم‌افزار ESPRIT، علاوه بر روش‌های استاندارد ZAF/Φ(ρz)، ماژول TQuant را برای standardless quantification در ولتاژهای کم (< 5 kV) و ترکیب استاندارد و بدون استاندارد در یک چرخه (Hybrid Quant) ارائه می‌کند؛ این یعنی دقت کمّی‌سازی بالاتر برای عناصر سبک و لایه‌های نازک.
  • ادغام چهار روش روی یک پلتفرم:
    QUANTAX EDS for SEM به‌صورت کامل با WDS، EBSD و Micro-XRF روی SEM در نرم‌افزار ESPRIT یکپارچه است؛ در نتیجه می‌توان در یک پروژه، هم‌زمان داده‌های EDS، WDS، EBSD و Micro-XRF را ترکیب و تحلیل کرد.
  • افزایش uptime و سرویس ساده:
    ماژول SDD XFlash 7 روی سایت قابل تعویض است (on-site SDD module exchange) و طرح‌های health check و predictive maintenance، زمان خواب سیستم را کاهش داده و پایداری کالیبراسیون را در بلندمدت حفظ می‌کند.

این ویژگی‌ها، QUANTAX EDS for SEM را به یک سیستم EDS سریع، دقیق و قابل‌اتکا برای آنالیز عنصری در SEM، FIB-SEM و EPMA در طیف وسیعی از صنایع و پژوهش‌ها تبدیل می‌کند.

کاربردها

کاربردهای سیستم QUANTAX EDS for SEM

الکترونیک و نیمه‌هادی:

نقشه‌برداری عنصری با رزولوشن فضایی بسیار بالا روی FinFET، interconnectها، لایه‌های چندگانه و ساختارهای 7 nm؛ مناسب برای delayering، عیب‌یابی، تحلیل آلودگی و بررسی فرآیند. XFlash 7 و XFlash 7100oval، EDS شبه-TEM روی FE-SEM را ممکن می‌کنند.

زمین‌شناسی و مینرالوجی:

نقشه‌برداری سریع Thin Sectionهای مینرالوژیک، Coreهای حفاری، شهاب‌سنگ‌ها و سنگ‌های آذرین؛ استفاده از QUANTAX FlatQUAD برای گرفتن “تصویر شیمیایی” با رزولوشن بالا در چند دقیقه و تحلیل فازهای معدنی و تکامل ماگمایی.

علوم زندگی و بیولوژی:

نقشه‌برداری عنصری روی نمونه‌های تازه، گیاهان، ارگانیزم‌های دریایی و بافت‌های حساس در ولتاژ و جریان پایین، با استفاده از آشکارسازهای حلقوی و FlatQUAD؛ بررسی بیومینرال‌ها، توزیع عناصر در تریکوم‌ها و ساختارهای ظریف.

متریال ساینس و سرامیک‌ها:

تحلیل سرامیک‌های UHT، بوردیدها، ترموالکتریک‌ها، لایه‌های نازک و لایه‌های چندگانه؛ استفاده از Peak deconvolution خودکار برای حل Overlapها (مثل Bi/Pb)، و آنالیز کم‌انرژی (low-kV) برای لایه‌های نازک و مواد سطحی.

متالورژی و جوش:

نقشه‌برداری سریع حوضچه‌های جوش، منطقه‌ی Zr-steel welding seam، پوشش‌های کاربیدی و سوپرآلیاژها برای تشخیص فازها، مناطق ضعیف و آخال‌ها؛ EDS پرسرعت بعد از جوش می‌تواند به‌سرعت مشکل‌های احتمالی را نشان دهد.

نانومواد و ساختارهای حساس:

نقشه‌برداری با رزولوشن بالا روی Si-core/C-shell nanoparticles، لایه‌های نازک، ساختارهای ۷ nm، و مواد حساس به پرتو با استفاده از FlatQUAD و XFlash 7 در ولتاژهای کم و جریان‌های پایین، بدون آسیب‌زدن به نمونه.

حوزهکاربرد اصلینمونه‌ها / فرآورده‌ها
الکترونیک و نیمه‌هادی نقشه‌برداری عنصری با رزولوشن بالا، تحلیل لایه‌ها و interconnectها FinFET، IC، Wafer، Stackهای فلزی، TSV، interposer
زمین‌شناسی و مینرالوجی تحلیل فاز، تکامل ماگمایی و نقشه‌برداری Thin Section Thin Section، Core، شهاب‌سنگ، سنگ‌های آذرین/دگرگونی
علوم زندگی نقشه‌برداری بیومینرال‌ها و عناصر در نمونه‌های حساس نمونه‌های گیاهی، بافت‌ها، ارگانیزم‌های دریایی، میکروب‌ها
متریال ساینس و سرامیک تحلیل لایه‌ها، سرامیک‌های UHT، ترموالکتریک‌ها سرامیک‌های بوردیدی، اکسیدی، لایه‌های TiC/Al2O3 روی WC-Co
متالورژی و جوش نقشه‌برداری سریع seam جوش و Superalloyها Zr-steel welds، Superalloyهای تک‌کریستال، پوشش‌های سخت
نانومواد نقشه‌برداری با رزولوشن بالا روی نانوساختارهای حساس Nanoparticles، thin films، ساختارهای core-shell

این کاربردها، QUANTAX EDS for SEM را به یک ابزار کلیدی برای آنالیز عنصری سریع و دقیق در طیف وسیعی از صنایع و پژوهش‌ها تبدیل می‌کند.

مشخصات فنی

QUANTAX EDS for SEM Technical Specifications

ParameterSpecificationNotes
System Type QUANTAX EDS for SEM, FIB-SEM and EPMA Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS/EDX) system
Detector Series XFlash® 7 SDD detector family For SEM, FIB-SEM and EPMA; TEM variants available
Active Detector Area Typically 30 – 100 mm² Large area SDDs for micro- and nanoanalysis
Analytical Throughput Up to 1,000,000 cps Real analytical throughput for fastest mapping & quantification
Solid Angle (Collection Angle) > 1.1 sr (up to ~1.1 sr and beyond) Largest solid angle for efficient X-ray collection; further increase with multi-detector systems
Energy Resolution Down to ~123 eV at Mn Kα (typical) High spectral performance, optimized for light elements & low energy X-rays
Element Lines > 2,200 K, L, M and N lines Most comprehensive atomic database for complex spectra
Geometry Slim-line design, optimized take-off angle Short detector-to-sample distance; excellent TOA for low absorption
Detector Variants Standard XFlash 7, XFlash 7100oval, XFlash FlatQUAD Oval & annular geometries for ultra-high spatial resolution and beam-sensitive samples
Integration EDS, WDS, EBSD, Micro-XRF in ESPRIT One software platform for four analytical methods
Software ESPRIT Spectrum, Mapping, Quant, Feature, HyperMap, TQuant Full range of qualitative & quantitative functions incl. low kV quantification
Quantification Methods Standardless (P/B-ZAF, Φ(ρz)) & Standard-based; Hybrid Quantification Combination of both methods in one evaluation for maximum accuracy
Maintenance & Uptime On-site SDD module exchange; health checks, predictive maintenance Maximized uptime and reduced recalibration needs

جدول فوق، مهم‌ترین مشخصات فنی QUANTAX EDS for SEM را نشان می‌دهد و به انتخاب این سیستم EDS برای SEM، FIB-SEM و EPMA از نظر سرعت، حساسیت، هندسه و نرم‌افزار کمک می‌کند.

لوازم جانبی

لوازم جانبی سیستم QUANTAX EDS for SEM

لوازم جانبی و اجزای متداول همراه QUANTAX EDS
نام لوازم / ماژولنوع / تعداد پیشنهادیتوضیحات
XFlash® 7 EDS Detector 1 یا چند آشکارساز (30–100 mm²) آشکارساز SDD نسل جدید برای QUANTAX EDS با active area بین 30 تا 100 mm²، slim-line design، زاویه جامد بالا و throughput تا 1,000,000 cps.
XFlash® FlatQUAD Detector اختیاری آشکارساز حلقوی چهار‌گانه برای نمونه‌های چالش‌برانگیز (topography بالا، low kV، beam-sensitive) و نقشه‌برداری با زاویه جامد بسیار بزرگ و رزولوشن بالا.
Electronics & Pulse Processor Unit 1 واحد واحد الکترونیک و hybrid pulse processing برای مدیریت نرخ شمارش بالا، اصلاح پدیده‌هایی مثل pile-up و فراهم‌کردن real-time spectrometry و HyperMap.
ESPRIT Software Suite 1 لایسنس (با ماژول‌های انتخابی) شامل ESPRIT Spectrum، Quant Tools، Mapping، Feature، HyperMap، TQuant و ماژول‌های اضافی برای EDS، WDS، EBSD و Micro-XRF روی SEM.
Cables & Mounting Hardware کامل برای مدل SEM کابل‌های برق و دیتا، براکت‌های نصب روی SEM، فیکسچرها و رابط‌های مکانیکی مطابق مدل میکروسکوپ (SEM / FIB-SEM / EPMA).
EDS Calibration Standards ست استاندارد مواد مرجع تأییدشده (CRMs) برای کالیبراسیون و اعتبارسنجی کمّی‌سازی؛ بسته به کاربرد (فولاد، آلیاژها، مواد معدنی، …) تغییر می‌کند.

اقلام و تعداد دقیق لوازم همراه QUANTAX EDS for SEM به پیکربندی، نوع آشکارساز (XFlash 7، FlatQUAD، چندآشکارسازه) و قرارداد فروش بستگی دارد.

دانلودها

کاتالوگ سیستم QUANTAX EDS for SEM

کاتالوگ XFlash® 7 EDS Detector | نسخه انگلیسی English
کاتالوگ XFlash® 7 EDS Detector | نسخه فارسی فارسی

با دانلود اسناد بالا می‌توانید جزئیات کامل XFlash® 7 و نقش آن در سیستم QUANTAX EDS for SEM، همراه با overview کامل آنالیزگرهای الکترونی Bruker (EDS، WDS، EBSD و Micro-XRF روی SEM) را ببینید. اگر بعداً فایل‌ها را روی سرور خودت (partoshar.com) آپلود کردی، فقط آدرس href را به لینک‌های خودت تغییر بده.

محصولات مرتبط

ارسال نظر
عنوان نظر :
نام شما :
ایمیل :
10 / 10
از 1 کاربر