|
مشخصه
|
توضیحات
|
|
رزولوشن تصویر میکروسکوپ الکترونی STEM-SEM
|
0.204 nm guaranteed (at a magnification of
×4,000,000)
|
0.136 nm guaranteed (HAADF-STEM image)
0.105 nm guaranteed (FFT) (at a magnification of
×7,000,000) (HR lens)
|
|
بزرگنمایی میکروسکپ الکترونی STEM-SEM
|
×100 - ×10,000,000
|
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکوپ STEM-SEM
|
200 kV, 120 kV, 80 kV
|
|
سیگنال تصویربرداری میکروسکپ STEM-SEM
|
Bright field STEM: Phase contrast image (TE image)
Dark field STEM: Z-contrast image (ZC image)
Secondary electron image (SE image)
Electron diffraction
Characteristic X-ray analysis and mapping (EDX)
EELS analysis and mapping (EV3000)
|
|
اپتیک های الکترون میکروسکوپ الکترونی STEM-SEM
|
Electron source
|
Schottky emitter (w/o Cs-corrector)
|
|
Cold field emitter (w/Cs-Corrector/o Cs-corrector)
|
|
Illumination lens system
|
2-stage condenser lens
|
|
Cs-corrector
|
Multipole transfer lens design
|
|
Scanning coil
|
2-stage electromagnetic coil
|
|
ZC collection angle control
|
Projector lens design
|
|
Electromagnetic image shift
|
±1 µm
|
|
استیج نمونه میکروسکپ الکترونی STEM-SEM
|
Specimen movement
|
X/Y = ±1 mm, Z= ±0.4 mm
|
|
Specimen tilt
|
Single-tilt holder: ±30° (Std. lens), ±18° (HR lens)
|