|
مشخصه
|
توضیح
|
|
اپتیک الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
ستون SEM انتشار حرارتی با عملکرد بالا با منبع آند دوگانه
دریچه شیئی ثابت برای سهولت عملیات
هندسه لنز 45 درجه ای با پمپاژ از طریق لنز و دریچه شیئی گرم
حداکثر عرض میدان افقی: 6.5 میلیمتر در فاصله کاری آنالیز (10 میلیمتر)؛ 24.3 میلی متر در 65 میلیمتری، 150 میلی متر با حالت مونتاژ
ولتاژ شتاب: 200 ولت تا 30 کیلو ولت
جریان پروب: تا μA 2 ، قابل تنظیم به طور مداوم
بزرگنمایی: 6 تا 1000000 برابر
|
|
رزولوشن الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
خلاء زیاد
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
8.0 nm at 3 kV (SE)
|
خلاء زیاد با کاهش سرعت پرتو
7.0 nm at 3 kV (BD mode + DBS)
|
خلاء کم
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
10 nm at 3 kV (SE)
|
حالت خلاء گسترش یافته (ESEM)
3.0 nm at 30 kV (SE)
|
|
آشکارسازهای میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Everhart Thornley SED (آشکارساز الکترونی ثانویه)
میدان بزرگ خلاء کم SED (LFD)
SEDگازی (GSED) (در حالت ESEM مورد استفاده قرار می گیرد)
دوربین IR برای مشاهده نمونه در محفظه
حسگر BSE برای فشار بالا، مورد استفاده در حالت (ESEM)
BSED جهت دار می تواند در حالت الکترون بازگشتی (CBS) یا در حالت الکترون بازگشتی زاویه دار (ABS) مورد استفاده قرار گیرد.
اندازه گیری جریان پرتو الکترونی
BSEDتحلیلی گاز (GAD)
Scintillator BSED/CLD
آشکارساز STEM-I جمع شونده STEM-III
دوربین نوری Nav-Cam برای انتقال نمونه
کاتودولومینسانس
ESEM-GAD
EDS
WDS
EBSD
|
|
سیستم خلاء میکروسکوپ الکترونی SEM
|
1 x 250 l/s TMP (turbomolecular pump), 1 x PVP
طول مسیر پرتو گاز : 10 میلی متر یا 2 میلیمتر
ارتقاء اختیاری به PVP
خلاء محفظه (زیاد) <6e-4 Pa
خلاء محفظه (کم) <Pa 10 تا 130 Pa
خلاء > ESEM Pa - 10 Pa 2600
زمان تخلیه: ≤ 150 ثانیه تا خلاء زیاد و 270 ثانیه تا ESEM
|
|
میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
اندازه 379 میلی متر چپ به راست
10 میلی متر WD تحلیلی
10 پورت
زاویه EDS برابر با 35 درجه
|
|
صفحه قرارگیری نمونه میکروسکوپ الکترونی SEM
|
X-Y = 150 mm
Z = 65 mm
Z = 93.5 mm وضوح
T = - 5° to + 70° (manual)
R = 360° continuous
Repeatability: 2 µm (x and y)
شیب-اکولایزر در ارتفاع تحلیلی (29.3 میلی متر)
حرکات x و y در سطح شیب قرار دارند.
کاهش سرعت پرتو (لنز کاتدی / نمونه)
|
|
نگهدارنده نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
نگهدارنده چند نمونه ای
ویفر های مختلف و نگدارنده سفارشی (های) موجود در صورت درخواست
|
|
کنترل سیستم میکروسکوپ الکترونی SEM
|
رابط کاربری گرافیکی با ویندوز ، صفحه کلید، موس نوری
یک / دو ، صفحه نمایش LCD
یک صفحه کلید و ماوس
Joystick
رابط کاربری دستی
|
|
پردازنده تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
حداکثر 4096 × 3536 پیکسل (~ 14 مگابایت)
نوع فایل : TIFF (8, 16, or 24-bit RGB), BMP or JPEG
سیگنال زنده یا استاتیک مخلوط رنگی و یا سیاه و سفید
256 قاب متوسط یا ادغام شده
هیستوگرام تصویر و نرم افزار اندازه گیری
|
|
پشتیبانی از ویژگی های نرم افزار میکروسکوپ الکترونی SEM
|
استراتژی اسکن SmartSCAN و DCFI
جهت یابی اتوماتیک
کنترل دما SW با صفحه نگهدارنده نمونه FEI داغ یا سرد آپشن
تهیه تصویر با فاصله 1 تا 4
عملکرد ذخیره عکس چندگانه
نمایش تصویر در یک مانیتور جداگانه اجازه تصویربرداری از روی صفحه نمایش دو برابر از آشکارسازهای مختلف را می دهد.
|
|
آپشن های سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
کاهش سرعت پرتو
رابط کاربری دستی
پشتیبانی از کامپیوتر (از جمله مانیتور 19 اینچی دوم)
SW کنترل شده توسط Peltier صفحه نگهدارنده نمونه خنک شده
SW کنترل شده سیستم WetSTEM SM
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1000 درجه سانتیگراد
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1400 درجه سانتی گراد
Cryocleaner
Joystick
SW کنترل از راه دور
جریان سنج نمونه
چاپگر تصویری
کیت نگهدارنده نمونه
محفظه آکوستیک برای پمپ خلاء
7 یا 52 پین تغذیه الکتریکی
پرتو الکترواستاتیک
کیت تکمیل WDS
کیت پمپ پیش خلاء اسکرول بدون روغن
کیت گاز کمکی (برای گازها به جای آب)
|
|
لوازم جانبی آپشن میکروسکوپ الکترونی SEM
|
EDS
WDS
EBSD
Cryo stage
Cathodoluminescence
Sample current detector
Nanomanipulators
Lithography system
CAD navigation
Electrical probing
Raman
|
|
مستند سازی و پشتیبانی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
کمک آنلاین
CD آموزش Quanta Getting Started
RAPID فعال (پشتیبانی از راه دور تشخیصی)
عضویت رایگان در باشگاه کاربری FEI ESEM
|
|
آپشن های نرم افزاری میکروسکوپ الکترونی SEM
|
کنترل از راه دور / مشاهده نرم افزار
نرم افزار تجزیه و تحلیل تصویر
نرم افزار آرشیو داده با استفاده از وب
نرم افزار اندازه گیری ارتفاع / اندازه گیری زبری
|