|
مشخصه
|
توضیح
|
|
اپتیک الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
گسیل میدانی با وضوح بالا – ستون SEM بهینه شده برای شفافیت و جریان بالا
هندسه لنز 45 درجه ای با پمپاژ از طریق لنز و دیافراگم شیئی گرم
|
|
رزولوشن الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
خلاء زیاد
0.8 nm at 30 kV (STEM)
1.2 nm at 30 kV (SE)
2.5 nm at 3 kV (BSE)
3.0 nm at 1 kV (SE)
|
خلاء کم
1.5 nm at 30 kV (SE)
2.5 nm at 30 kV (BSE)
3.0 nm at 3 kV (SE)
|
حالت خلاء گسترش یافته (ESEM)
1.5 nm at 30 kV (SE)
ولتاژ شتاب دهنده: 200V-30kV
جریان پروب : تا 100nA- بطور مداوم قابل تنظیم
|
|
آشکارسازهای میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Everhart Thornley SED (آشکارساز الکترونی ثانویه)
میدان بزرگ خلاء کم SED (LFD)
SEDگازی (GSED)
IR-CCD
BSED حالت جامد
BSED آنالیز گازی (GAD)
STEM
Scintillator BSED/CLD
Gaseous BSED
|
|
محفظه خلاء میکروسکوپ الکترونی SEM
|
خلاء زیاد : <Pa e-46
خلاء کم : 10-130 Pa
خلاء ESEM : 10-4000 Pa
|
|
سیستم خلاء میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
1 x 240 l/s TMP (turbomolecular pump), 2 x PVP
طول مسیر پرتو گاز : 10 میلی متر یا 2 میلیمتر
|
|
محفظه میکروسکوپ الکترونی SEM
|
379mm چپ به راست
WD تحلیلی 10mm
10 پورت
EDX با زاویه °35
|
|
صفحه قرارگیری نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
X,Y = 150 mm
Z = 65 mm (Z – clearance 93.5mm)
T = - 5° to + 70° (WD dependent)
R = 360° continuous
|
|
کنترل سیستم میکروسکوپ الکترونی SEM
|
رابط کاربری گرافیکی 32 بیتی با ویندوز XP، صفحه کلید، ماوس نوری
صفحه نمایش LCD با ابعاد 19 اینچ ، SVGA 1280x1024
|
|
پردازنده تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
حداکثر 4096 × 3536 پیکسل
نوع فایل : TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG
|
|
امکانات استاندارد نرم افزار میکروسکوپ الکترونی SEM
|
ثبت دیجیتال تصاویر
کنترل دما SW
نرم افزار اندازه گیری
|
|
آپشن های سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
پشتیبانی از کامپیوتر (از جمله 2 مانیتور 19 اینچی و DVD R/W)
کنترل پنل چند کاره
نرم افزار آرشیو تصاویر
SW کنترل شده توسط Peltier صفحه نگهدارنده نمونه خنک شده
SW کنترل شده سیستم WETSTEM SM
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1000 درجه سانتیگراد
SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1500 درجه سانتی گراد
SW کنترل از راه دور
چاپگر تصویری
کیت نگهدارنده نمونه
EDS
WDS
EBSD
سیستم CL
|
|
الزامات نصب و راه اندازی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
برق: ولتاژ 230 ولت (+ 6٪، - 10٪)
فرکانس 50 یا 60 هرتز (+/- 1٪)
مصرف برق: < kVA3.0 برای میکروسکوپ پایه
محیط: محدوده حداکثر دما برای عملیات C °3 ± C °20
رطوبت نسبی زیر 80٪ RH (غیر متراکم)
میدان مغناطیسی پراکنده AV
<40 nT ناهمگام
<300 nT همگام
عرض درب: 90 سانتی متر
وزن: ستون کنسول 570 کیلوگرم
وزن: کنسول الکتریکی 139 کیلوگرم
|