مشخصه
|
توضیح
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
4.0 nm @ 20 kV (SE: High vacuum mode)
15.0 nm @ 1 kV (SE: High vacuum mode)
5.0 nm @ 20 kV (BSE: Low vacuum mode)
|
بزرگ نمایی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
6x to 300,000x (on photo)
16x to 800,000x (on display)
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
0.3 to 20 kV
|
محدوده فشار متغیر میکروسکپ الکترونی SEM
|
6 to 100 Pa
|
استیج نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
3-Axis motorized stage
X: 0-40 mm
Y: 0-50 mm
Z: 5-15 mm
R: 360°
T: -15° to +90°
|
تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی SEM
|
Pre-centered cartridge filament
|
آشکارسازهای میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Evehart Thonley SE detector, High Sensitivity Semiconductor, BSE detector
|
وزن و ابعاد میکروسکپ الکترونی SEM
|
واحد اصلی
|
450(W) x 640 (D) x 670 (H) mm 107 kg
|
واحد power supply
|
450(W) x 640 (D) x 670 (H) mm 58 kg
|
پمپ روتاری
|
150(W) x 414 (D) x 315 (H) mm 22 kg
|
وزن
|
160(W) x 200 (D) x 134 (H) mm 26 kg
|