مشخصه
|
توضیحات
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
2 nm, 3 nm @ 30 kV SE with LaB6, W
6 nm, 8 nm @ 3 kV SE with LaB6, W
9 nm, 20 nm @ 1 kV SE with LaB6, W
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکوپ الکترونی SEM
|
0.2 to 30 kV
|
جریان پروب میکروسکوپ SEM
|
0.5 pA to 5 μA
|
بزرگ نمایی میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
< 5 – 1,000,000×
|
میدان دید میکروسکپ الکترونی SEM
|
6 mm at Analytical Working Distance (AWD)
|
آنالیز اشعه ایکس میکروسکپ SEM
|
8.5 mm AWD and 35° take-off angle
|
مودهای OptiBeamمیکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Resolution, Depth, Analysis, Field, Fisheye
|
محدوده فشار میکروسکوپ الکترونی SEM
|
25 – 133 Pa (EasyVP)
25 - 400 Pa (Variable Pressure)
25 – 3000 Pa (Extended Pressure)
|
دتکتورهای میکروسکوپ SEM
|
CCD – Charge Coupled Device for Raman spectroscopy
SE – Everhart-Thornley Secondary Electron Detector (supplied as standard)
HDBSD – Solid State Backscattered Electron, 4 or 5 quadrants YAG-BSD – YAG Crystal Backscattered Electron Detector
VPSE-G4 – Variable Pressure Secondary Electron Detector C2D – Cascade Current Detector Detector C2DX – Extended Range Cascade Current Detector
SCD – Specimen Current Detector
STEM – Scanning Transmission Electron Microscopy Detector
CL – Cathodoluminescence Detector
ZEISS SmartEDX – Energy Dispersive Spectrometer (EDS)
WDS – Wavelength Dispersive Spectrometer
EBSD – Electron Backscatter Diffraction Detector
|
ابعاد محفظه میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
420 mm (Ø) × 330 mm (h)
|
استیج نمونه 5-Axes Motorizedمیکروسکپ الکترونی SEM
|
Stage control by mouse or optional joystick and control panel
X = 130 mm, Y = 130 mm,
Z = 50 mm or 80 mm
T = -10° to 90°, R = 360° (continuous)
|
حداکثر ارتفاع نمونه میکروسکپ SEM
|
210 mm
|
Assured Upgraded Pathsمیکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
BeamSleeve, Extended Pressure, Water vapor VP and EP gas
|
ابعاد تصویر میکروسکوپ الکترونی SEM
|
32,000 × 24,000 pixels, signal acquisition by integration and averaging (scan speed 2 or above)
|
کنترل سیستم میکروسکوپ SEM
|
SmartSEM GUI operated by mouse and keyboard
SmartSEM Touch GUI operated by 23" touchscreen, mouse and optional hardware control panel Hardware control panel with rotary controls for improved manual feedback and more intuitive control during imaging Ease of use features – auto saturation, auto align, sample selection & automated imaging Windows® 25 multilingual operating system
|