|
مشخصه
|
توضیح
|
|
رزولوشن فضایی میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV with deceleration mode ＊
1 3.0 nm @ 15 kV Variable Pressure mode *2
|
|
بزرگ نمایی میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM
|
10～600,000x (based on 4 "x 5 "picture),
18～1,000,000x (800x600 pixels on display)/30～1,500,000x (1,280x960 pixels on display
|
|
اپتیک الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM
|
امیتر
|
ZrO/W Schottky emitter
|
|
ولتاژ شتاب دهنده
|
0.5～30 kV (0.1 kV step)
|
|
ولتاژ فرود
|
0.1～2.0 kV with deceleration mode *1
|
|
حداکثر جریان پروب
|
> 200 nA
|
|
آشکارساز میکروسکوپ الکترونی FESEM
|
Evehart Thonley SE detector) Lower detector (
|
|
محفظه نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
کنترل
|
5-Axis motorized stage
|
|
حرکت
|
X
|
0～100 mm
|
|
|
Y
|
0～50 mm
|
|
|
R
|
3～65 mm
|
|
|
T
|
-20～90 °
|
|
|
Z
|
360 °
|
|
|
سایز نمونه
|
80 mm height
|
|
up to 200 mmφ maximum
|
|
مانیتور میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM
|
23 inch LCD（1920×10800(
|
|
حالت صفحه نمایش میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM
|
صفحه نمایش بزرگ
|
1,280×960 pixels
|
|
صفحه نمایش تکی
|
800×600 pixels
|
|
صفحه نمایش دو تایی
|
640×480 pixels
|
|
صفحه نمایش Quad
|
640×480 pixels
|
|
ذخیره سازی داده های تصویر
|
سایز پیکسل
|
640×480 1,280×960 2,560×1,920 5,120×3,840
|
|
وزن و ابعاد میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM
|
واحد اصلی
|
740W x 1,000(D) x 1,650(H) mm 550 kg
|
|
صفحه نمایش
|
1,100W x 1,120(D) x 730(H) mm 290 kg
|
|
پمپ روتاری
|
526W x 225(D) x 306(H) mm 28 kg
|
|
کمپرسور هوا
|
400W x 230(D) x 520(H) mm 18 kg
|
|
وزن
|
W x 180(D) x 160(H) mm 40 kg
|
|
آشکارساز های انتخابی میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM
|
Top detector for high resolution imaging Through-the-Lens＊1 Ultra Variable-Pressure Detector（ UVD） Retractable five segment Backscatter Electron Detector （PD-BSD）
＊4 Energy Dispersive X-ray detector (EDS) Wavelength Dispersive X-ray detector (WDS) Electron Backscatterd Diffraction Pattern detector (EBSD）
|