|
مشخصه
|
توضیح
|
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
0.7 nm (15 kV)
0.7 nm (1 kV)
3.0 nm (5 kV、WD10 mm、5 nA)
|
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
0.01 kV to 30 kV
|
|
جریان پروب میکروسکپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
Several pA to 200 nA
|
|
بزرگنمایی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
× 25 to × 1,000,000
|
|
تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترون روبشی SEM
|
In-lens Schottky field-emission gun
|
|
کنترل زاویه دیافراگم میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
Built-in
|
|
آشکارساز میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Upper Electron Detector（UED）
Lower Electron Detector（LED）
|
|
فیلتر آنرژی میکروسکپ الکترونی روبشی SEM
|
UED Filter Voltage Change Function built-in
|
|
پرتو آرام میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
Built-in
|
|
نمایش تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
|
Image display area 1,280 x 960-pixel, 800 x 600 pixel
|
|
دیافراگم لنز شیئی میکروسکپ الکترون روبشی SEM
|
5-axis motor drive stage
Full eucentric goniometer stage
|
|
عملکرد اتوماتیک میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
Focus, Stigmator, Brightness, Contrast
|
|
استیج نمونه میکروسکوپ الکترون روبشی SEM
|
Fully eucentric goniometer stage
|
|
X
Y
WD (Z)
Tilt
Rotation
|
70 mm
50 mm
2 mm to 25 mm
-5 to +70°
360°
|