میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM مدل JSM-7200F

قسمت های اصلی میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FESEM مدل JSM-7200F عبارتند از:

اپتیک الکترونی مبتنی بر فناوری In-Lens SchottkyPlus ،GB (حالت پرتو آرام)، TTLS (از طریق لنز سیستم) که امکان مشاهدات با وضوح بالا در ولتاژ شتاب کم را فراهم می کند و میزان سیگنال های کم انرژی که توسط آشکارسازهای قوی تشخیص داده می شوند و یک لنز شیئی ترکیبی که لنز مغناطیسی و لنز الکترواستاتیکی را ترکیب می کند.

میکروسکوپ ‌های الکترونی نشر میدانی FE-SEM ، تصویربرداری با قدرت تفکیک بالا در ولتاژهای پایین و کمترین فاصله کاری را امکان پذیر می‌سازد. از دیگر ویژگی های میکروسکوپ ‌های الکترونی روبشی گسیل میدانی Field Emission Scanning Electron Microscope می‌توان به قابلیت کار از راه دور، عدم نیاز به نیتروژن مایع، مجهز بودن به دوربین های داخل محفظه، پمپ‌های خلاء سریع، سیستم‌های ضد ارتعاش و نرم افزارهای پیشرفته اشاره کرد.

ویژگی های میکروسکوپ الکترونی روبشینشر میدانی FESEM مدل JSM-7200F

• تفنگ الکترونیIn-Lens Schottky میکروسکوپ الکترونی روبشیانتشار میدانی FESEM مدل JSM-7200F

تفنگ الکترونی In-Lens Schottky میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی Field Emission SEM مدل JSM-7200F ، بهینه سازی شده با شکل هندسی تفنگ الکترونی و لنز کندانسور با  انحراف کم ایجاد شده است. با استفاده از این تکنولوژی منحصر به فرد، الکترون هایی که  از تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7200F منتشر می شوند، می توانند کارآمدتر از یک عنصر معمولی مورد استفاده قرار گیرند، بنابراین قطر کوچک تر پروب الکترون حتی با جریان بزرگ نیز امکان پذیر است. بنابراین، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7200F قادر به تجزیه و تحلیل با توان بالا (EDS، WDS، EBSD، و غیره) است.

• TTLS (از طریق لنز سیستم) در میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7200F

TTLS (از طریق لنز سیستم) سیستمی است که قابلیت مشاهده در رزولوشن بالا با ولتاژ شتاب کم و نیز انتخاب سیگنال های مختلف تولیدی از نمونه با استفاده از GB (حالت پرتو آرام) را در میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7200F دارد.

با استفاده از ولتاژ بایاس به نمونه با حالت GB (حالت پرتو آرام)، الکترون ها در حال فرود  افت می کنند و از نمونه شتاب می گیرند، بنابراین ممکن است تصاویر با کیفیت تصویر بالا با نسبت سیگنال به نویز بهتر بدست آید. در تسریع میزان پایین ولتاژ شتاب/ فرود ، ولتاژ فیلترینگ انرژی مجهز به TTLS، میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7200F کاربران را قادر به کنترل میزان الکترون های ثانویه می کند که توسط آشکارسازهای بالا شناسایی می شوند. بنابراین تصاویری از سطح بالای نمونه که فقط توسط الکترون های بازگشتی به زاویه تولید می شود، می تواند در ولتاژ شتاب پایین با دستگاه آشکارساز الکترون (UED) مشاهده می شود. الکترونهای کم انرژی که با UED تشخیص داده نمی شوند و توسط ولتاژ  فیلتر کردن به آن ها فشار وارد می شود نیز با یک آشکارساز الکترون ثانویه اختیاری (USD) میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FESEM مدل JSM-7200F شناسایی می شوند. به همین ترتیب، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7200F می تواند هم تصویر الکترون ثانویه و هم تصویر الکترون برگشتی را به طور همزمان تشخیص دهد.

• لنز شیئی هیبرید (ترکیبی از لنز مغناطیسی و لنز استاتیکی ) در میکروسکوپ الکترونی روبشیانتشار میدانی FESEM مدل JSM-7200F

برای میکروسکوپ الکترونی روبشی Field Emission Scanning Electron Microscope مدل JSM-7200F ، یک لنز جدید به نام "لنز هیبرید"  تعبیه شده است. لنز هیبرید ترکیبی از یک لنز مغناطیسی و یک لنز الکترواستاتیک است که به منظور کاهش میزان اشباع طراحی شده است ، بنابراین امکان دستیابی به وضوح بیشتر در مقایسه با لنزهای معمولی وجود دارد. میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM مدل JSM-7200F قابلیت استفاده از خروجی های معمول را حفظ می کند، بنابراین هیچ مشکلی برای مشاهده و تحلیل نمونه های مغناطیسی وجود ندارد .

کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل JSM-7200F

به دست آوردن اطلاعات توسط لنز هیبرید و GB ( حالت پرتو آرام ) امکان مشاهدات با رزولوشن بالا از مواد عایق را در ولتاژ شتاب بسیار کم فراهم می کند.

این تصاویر در میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FE-SEM مدل JSM-7200F ، توسط UED در ولتاژ شتاب پایین عکسبرداری شده است. این تصاویر حاوی الگوریتم برگشت ناپذیر با زاویه دید بالا با اطلاعات غنی از ترکیب است، اما تصویر گرفته شده در 0.8 KV را نشان می دهد که تصاویر در این ولتاژ، ساختار بسیار ظریفی از نمونه رانشان می دهد که قابل مقایسه با سطح تصویر گرفته شده در KV 5 است. لازم است که نه فقط آشکارساز الکترونی بالا (UED) بلکه یک فیلتر انرژی برای دستیابی به تصاوير الكتروني بازگشتی از سطح بالا برای برداشتن الکترون های ثانویه وجود داشته باشد.

مشخصات فنی میکروسکوپ الکترونی روبشی Field Emission Scanning Electron Microscope مدل JSM-7200F