|
مشخصه
|
توضیحات
|
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM
|
0.6 nm @ 30 kV (STEM)
0.7 nm @ 15 Kv
1.0 nm @ 1 kV / 500 V TD
1.1 nm @ 1 kV / 500 V
1.5 nm @ 200 V
|
|
رزولوشن تحلیلی میکروسکوپ الکترونی نشر میدانی FE-SEM
|
2.0 nm @ 15 kV, 5 nA, WD 8.5 mm
|
|
رزولوشن Inlens BSE میکروسکوپ الکترونی FE-SEM
|
1.2 nm @ 1 kV
|
|
رزولوشن در NanoVP mode (30 Pa)
|
1.4 nm @ 3 kV
1.0 nm @ 15 kV
|
|
ولتاژ شتاب دهنده میکروسکپ الکترونی روبشی نشر میدانی FE-SEM
|
0.02 - 30 kV
|
|
جریان پروب میکروسکپ الکترونی نشر میدانی FE-SEM
|
3 pA - 40 nA (100 nA or 300 nA configuration also available)
|
|
حداکثر میدان دید در مود با رزولوشن بالا میکروسکپ FE-SEM
|
5 mm at 5 kV and WD = 8.5 mm
|
|
حداکثر میدان دید در حالت نمای کلی میکروسکوپ الکترونی روبشی FE-SEM
|
-
|
|
بزرگنمایی میکروسکوپ الکترونی FE-SEM
|
8 – 2,000,000
|
|
دتکتورهای میکروسکوپ FE-SEM
|
Inlens SE Detector (Inlens secondary electron)
Chamber SE Detector
|
|
انتشاردهنده الکترون میکروسکپ FE-SEM
|
Thermal field emission type, stability better than 0.2 %/h
|
|
دتکتورهای موجود با پیکربندی پایه میکروسکوپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM
|
Inlens Secondary Electron detector
Everhart Thornley Secondary Electron detector
|
|
دتکتورهای آپشنال میکروسکپ الکترونی روبشی انتشار میدانی FE-SEM
|
High efficiency VPSE detector
Cascade current detector (C2D)
Annular solid state backscattered detector (aBSD)
Angular selective backscattered detector (AsB4)
Annular STEM detector (aSTEM4)
|
|
رزولوشن میکروسکوپ الکترونی انتشار میدانی FE-SEM
|
Up to 32k × 24k pixels
|
|
استیج نمونه میکروسکپ الکترونی انتشار میدانی FE-SEM
|
5-axes motorized eucentric specimen stage
X = 130 mm; Y = 130 mm
Z = 50 mm
T = -4° to 70°
R = 360° (continuous)
Specimen size: up to 179 mm in diameter for the full stage travel range of 130 mm.
Additional stage options available on request
|