نوع سنسور فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
سنسور دمایی
|
نوع ولو مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
دریچه الکترومغناطیسی متناوب بسته شده
|
گاز های قابل قبول فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2, etc. (Gases not specifically mentioned here are subject to calibration for N2 equivalent.)
|
محدوده جریان سیال مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
10 SCCM to 10 SLM
|
محدوده کنترل فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
2 to 100% (F.S.)
|
زمان پاسخ دهی واکنش مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Total flow rate control range ≤ 1 sec (within ±2% F.S.)
|
دقت دستگاه فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
±1.0% F.S.
|
خاصیت تکرار پذیری مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
±0.25%F.S.
|
فشار اختلاف فشار مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
50 to 300 kPa (100 to 300 kPa for Ar and CO2)
|
بیشترین میزان فشار داخلی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
500kPa(G)
|
PRESSUE proof
|
980kPa(G)
|
نرخ نشت خارجی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
≤ 1.0 x 10-11 Pa·m3/sec (He)
|
دما
دمای عملکرد مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
دقت دمای تضمین شده فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
سرعت ذخیره سازی مجاز فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
5 to 50℃
15 to 35℃
-10 to 60℃
|
میزان رطوبت عملیاتی مجاز فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
10 to 90% RH (without dew condensation)
|
مواد قابل تماس با بخش گاز مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
SUS316, SUS316L, magnetic stainless steel, Ni, PTFE, PCTFE, and FKM
|
تصالات برقی فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
(D-sub 15-pin male, high density, HR-10A (two
|
سیگنال تنظیم سرعت جریان مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
0 to 5 V DC (input impedance approx. 1 MΩ)
|
سیگنال خروجی جریان فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
0 to 5 V DC (load resistance 10 KΩ)
|
ارتباطات دیجیتال مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Address setting with RS485 rotary switch: up to 99 devices (9600 bps)
|
منبع برق مورد نیاز (DC) فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
+15 V DC (±5%), 150 mA; -15 V DC (±5%), 150 mA
|
خط اتصالات فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
1/4 VCR or equivalent
|
وضعيت نصب مس فلوکنترلر گازی دیجیتال
|
Horizontal installation recommended.
|
وزن دستگاه مس فلومتر دیجیتال فلوکنترلر جرمی گازی دیجیتال
|
Approx. 1100 g
|