| ۱ |
Background خیلی بالا (> 500 counts) |
لنز/سل کثیف یا آلودگی اپتیک |
تمیزکاری فوری با کیت مالورن |
| ۲ |
D50 تغییر > ۵٪ نسبت به استاندارد |
کالیبراسیون خارج شده |
کالیبراسیون مجدد با لاتکس ۱۰۰ nm |
| ۳ |
پیک اضافی یا شانه در توزیع |
سل کثیف، حباب یا آلودگی |
شستشو کامل + سونکیشن مسیر |
| ۴ |
Obscuration خیلی پایین (< ۵٪) |
پمپ یا همزن ضعیف |
چک و سرویس ماژول پمپ |
| ۵ |
خطای “Beam Steering” یا “Laser Power Low” |
لیزر یا آینه کثیف/ضعیف |
سرویس اپتیک + تست لیزر |
| ۶ |
نتایج غیرتکرارپذیر (RSD > ۳٪) |
تراز اپتیک یا همزن خراب |
Auto-Alignment + تست همزن |
| ۷ |
دمای سل بالا یا نوسان دارد |
فن گرفته یا فیلتر هوا کثیف |
تمیزکاری فن + تعویض فیلتر |
| ۸ |
نرمافزار کرش یا کند است |
نسخه قدیمی یا تداخل |
آپدیت به آخرین نسخه |
| ۹ |
بعد از جابجایی دستگاه |
تراز اپتیک بههم خورده |
کالیبراسیون کامل مجدد |
| ۱۰ |
بیش از ۱۰۰۰ ساعت کارکرد از آخرین سرویس |
فرسودگی طبیعی قطعات |
سرویس سالیانه PM الزامی |