| خلأ و فشار |
خلأسنج دیجیتال Pfeiffer/Edwards (دقت 0.01 mtorr)
مانومتر دقیق 0–10 bar |
تشخیص نشتی + تست Leak Rate |
| گاز |
فلومتر دیجیتال Bronkhorst
رگولاتور دو مرحلهای Harris
آنالایزر اکسیژن Trace |
تنظیم دقیق N₂/He + چک خلوص گاز |
| الکترونیک |
مولتیمتر Fluke 87V
اسیلوسکوپ 100MHz
منبع تغذیه DC قابل تنظیم |
عیبیابی برد کنترل و سنسورها |
| نرمافزار |
لپتاپ با MicroActive آخرین نسخه
کابل اترنت Cat6 اورجینال |
عیبیابی نرمافزاری و لاگگیری |
| تمیزکاری |
نیتروژن خشک 99.999٪
سواب بدون پرز + ایزوپروپانول 99.9٪ |
تمیزکاری منیفولد و سنسورهای فشار |
| کالیبراسیون |
آلومینا استاندارد SRM 1905a
کربن بلک SRM 1898 |
کالیبراسیون BET و حجم منفذ |
| مکانیکی |
ست آچار آلن دقیق Wiha
تورکمتر 0.1–5 Nm |
باز و بسته کردن بدون آسیب به اورینگ |
| ایمنی |
دستکش نیتریل، عینک ایمنی، مچبند ضد استاتیک |
جلوگیری از آسیب به قطعات حساس |